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高低温真空探针台测试系统森东宝探针台厂家直供

来自深圳市森东宝科技有限公司

¥100000.00

发布时间 2024-03-07 14:59:05 关注次数 1142

深圳市森东宝科技有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

特点/应用

◆ 2至6英寸样品台

◆ 高真空腔体

◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好

◆ 77K-675K高低温环境

◆ 兼容IV/CV/RF测试

◆ 外置多探针臂，移动行程大

◆ 经济实用，可无缝升级

极低温测试:

因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试：

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。

晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

◆ 腔体规格：

型号	CGO-2/CGO-4/CGO-6
样品台尺寸	2英寸/4英寸/6英寸
样品固定	弹簧压片
观察窗口	2英寸/4英寸/6英寸
真空度	10-6torr
探针臂接口	4~6个探针臂接口
其他接口	电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式	液氮/液氦/制冷机
温度范围	77K到573K/4.5K到573K
温控精度	0.1K/0.01K/0.001K
稳定性	±1K/±0.1K/±0.01K
外形	880mm长880mm宽600mm高/980mm长980mm宽600mm高
重量	约100千克/120千克

◆ 光学系统：

显微镜类型	单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移动行程	水平360度旋转，Z轴行程50.8mm
光源	外置LED环形光源/同轴光源
CCD	200万像素/500万像素/1200万像素

◆ 探针臂：

X-Y-Z移动行程	50mm50mm50mm
结构	外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度	10微米/1微米
线缆	同轴线/三轴线/射频线
漏电精度	10pA/100fA/10fA
固定探针	弹簧固定/管状固定
接头类型	BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
频率支持	DC-67GHZ
针尖直径	0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

◆ 其他组件：

真空组件	分子泵组/机械泵/离子泵
冷源组件	50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机

◆ 可选附件：

超高温配件

显示器

转接头

射频测试配件

屏蔽箱

光学平台

镀金卡盘

光电测试配件

高压测试配件

分子泵组

激光系统

气敏测试配件

品牌其他

型号高低温真空探针台

类型其他

加工定制是

产地其他

深圳市森东宝科技有限公司

公司类型私营合伙企业
经营模式生产加工-私营合伙企业
联系人王福辉
联系手机13249756822
联系固话0755-29412885
公司地址深圳市龙华区大浪街道新石社区丽荣路5号伟华达工业园E栋801

主营业务

探针台、GGB射频探针、光学平台、手动探针台、探针台配件、探针

深圳市森东宝科技有限公司(Cindbest)为森东宝国际有限公司（Cidabo International Limited）在大陆的全资子公司，专业从事探针台设备的研发、生产、销售和服务的高新技术企业。主营产品有：cindbest 品牌手动探针台（包含晶圆测试探针台、射频探针台、双面探针台、气敏探针台、真空高低温探针台等）、自动探针台、探针台配件、激光测试仪、美国GGB探针（包含射频探针、微波探针、高频探针、直流探针等）、蜂窝式光学平台、金相显微镜、I-V/C-V参数测试仪等。其中cindbest品牌探针台获得国家专利授权。目前cindbest营销网点已立足于深圳、香港、上海、长沙、西安等城市，服务过上百家客户。 cindbest专注于为半导体、LCD、太阳能、等行业领域提供综合性解决方案，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供先进的测试仪器，立志成为行业一流的探针台专用检测设备专家，为行业的发展贡献自己的力量。森东宝为GGB中国区独家正式授权代理商，欢迎各位新老客户前来咨询。