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图文介绍
产品参数
供应商信息
RTP快速升温炉由我公司自主研发的功能强大的加热设备。该产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体炉管可实现自动分离，炉体上下两半设计，可以自由打开，安全可靠。炉管尺寸180MM，可以直接放下5英寸的材料。炉胆采用高密度纯氧化铝聚轻纤维材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高温保护涂层，除能够保持其能量的最低损耗，还能增强高温稳定性，可有效减少热能损耗。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内，在完美完成生产工艺的同时，也大大降低了间接污染试样的可能性。并已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。采用双管设计，是石墨烯的制作的最好手段，炉体和炉管可以自由滑动，气体和温度及真空之间可以同步控制，可以同时实现自动化工艺，配上电脑可以对温度、真空和气体流量实现控制。由于可以实现系统化控制，对于操作和实验的重复性会非常有帮助，是实验室必备的一款设备。
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项目
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主要技术指标
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数据
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规格型号
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BTF-1200C-RTP-180
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温度控制
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温度点
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1200℃
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额定温度
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1100℃
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稳定状态温度范围
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100～1050℃
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温度测量精度
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±0.2℃
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温度控制重复性
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±1℃
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温度控制精确度
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±1℃
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温场均匀性
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±2℃
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温度状态工艺时间
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2～100（100～1050℃）
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升温速率
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300℃/S
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降温速率
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1～300，可以采用打开炉体降温或移除炉管降温同时启动流量计阀控控制气体冷却
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温度控制模式
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智能模糊全闭环控制
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触摸屏尺寸
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7"LCD 工控电脑
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物理指标
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功率（KW）
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24
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额定电压
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220V/AC380～400V 50-60HZ 自动匹配
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传感器类型
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K型
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反应腔室内径尺寸
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Φ180×580
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式样有效空间
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6''
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抽气端口尺寸
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KF25
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供气口尺寸
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Φ6mm双卡套
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冷却方式
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自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
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外形净尺寸
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长920×深500×高560mm
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重量
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约80Kg
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品牌贝意克
型号BTF-1200C-RTP-180
类型其他
加工定制是
产地其他
安徽贝意克设备技术有限公司
- 公司类型其他有限责任公司
- 经营模式生产加工-其他有限责任公司
- 联系人李晓丽
- 联系手机17354094989
- 联系固话0551-65146333
- 公司地址安徽省合肥市科学大道110号
主营业务
管式炉，箱式炉，马弗炉，电阻炉，PECVD
安徽贝意克设备技术有限公司坐落在合肥市高新区科学大道110号，是一家专注于新材料、新能源设备的研发生产与一体的国家级高新技术企业，合肥市科技小巨人企业，合肥市新能源设备模范企业。公司拥有多名专家顾问，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司拥有400平米的重点实验室，部分实验室对外开放。公司拥有专利35项，其中发明专利项15项，创造国内空白的有9项，其中5项国际领先。涉及领域包括，石墨烯、碳纳米管、高温荧光粉、OLED有机小分子材料、PECVD系统等。另外公司拥有智能高低温CVD系统、各种真空气氛管式炉，各种高低温箱式炉、等离子清洗设备、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、各种功能的球磨机、金属陶瓷切磨抛设备、氧化锆齿科烧结炉等设备。
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