8"探针台

8" probe station

特点

类型

规格

* 适应8英寸的各种半导体器件的高精度测试

* 舒适大手柄驱动CHUCK

* 20X~4000X 光学显微放大

* 无后座力移动

* 针座平台可以微调升降便于探针卡再定位

显微镜控制

在探针台本体的功能设计上增加了显微镜的气动升降或者显微镜倾仰装置，使在测试过程中更换物镜和样品更为方便，避免了会有碰伤样品和镜头的问题

显微镜放大倍率：20X~4000X （倍率可选）

显微镜X-Y轴行程2" x2"

chuck（卡盘）

尺寸：8英寸，圆形（方形可选）

材质：不绣钢（可升级镀金）

旋转角度：0-360°可带角度锁定，精度0.1°

X-Y移动行程：8" x8"

Chuck升降：可以快速升降6MM，并且附带旋钮细微调节功能

吸附孔：中心孔径最小可做到250μm，最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，最大能够吸住尺寸为8"X8"

整体规格

尺寸：840mm长 x 660mm宽 x 700mm高(带显微镜)

重量： 180 Kg(带显微镜)

平台升降：平台上下粗调行程6mm 通过升降杆调整

平台上下细调行程25 mm 通过旋转手轮

U型大平台设计，可以放置8个高端探针座，方便技术人员长时间舒适操作

可选附件： laser（激光）系统、探针卡夹具、加热台、防震桌、带真空底座的活动Chuck、高压测试/大电流测试、封装器件夹具、PCB板夹具、屏蔽箱