半导体镀膜冷却工业冷水机丨真空腔体冷却

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半导体镀膜冷却工业冷水机丨真空腔体冷却

来自迈浦特机械（四川)有限公司

¥155000.00

发布时间 2025-07-28 08:52:02 关注次数 16

迈浦特机械（四川)有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

一、产品概述

半导体镀膜冷却工业冷水机是为半导体镀膜工艺（如真空溅射镀膜、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD））研发的超高精度制冷设备，核心作用是为镀膜机的靶材、反应腔、射频电源、光学镜片等关键部件提供 5℃-35℃的循环冷却，控制部件温度稳定性（波动≤±0.1℃）、反应腔壁温差（≤±1℃）及冷却水流量精度（偏差≤±1%），确保镀膜层厚度均匀性（偏差≤±1%）、电阻率一致性（偏差≤±2%）及膜基结合力（≥50MPa）。在半导体镀膜中，温度波动 0.5℃可能导致镀膜层厚度偏差≥2%、缺陷密度增加 5 个 /cm²，传统冷却设备存在控温精度低（±1℃）、振动干扰（振幅≥3μm）、洁净度不足等问题，导致镀膜合格率不足 90%。

二、产品描述

超高精度恒温系统：实现 5℃-35℃宽域控温（静态精度 ±0.5℃）。针对半导体镀膜设备的多区域协同冷却需求（靶材与反应腔独立冷却），支持 2-4 路隔离式冷却回路，通过 PID 神经网络算法与流量微调节技术，确保各回路温差≤±0.1℃，反应腔壁轴向温差≤±0.5℃。相比传统设备，溅射镀膜的厚度均匀性从 ±3% 缩至 ±1%，CVD 沉积的电阻率偏差从 ±5% 降至 ±2%，有效减少因温度波动导致的镀膜缺陷（如针孔、剥离发生率≤0.1%）。
超洁净低干扰设计：与冷却介质接触部件采用 316L 不锈钢电解抛光（Ra≤0.02μm），密封圈选用全氟醚橡胶（FFKM），符合 FDA Class VI 生物兼容性要求，冷却水采用超纯水（电阻率≥18.2MΩ・cm）循环，溶解氧含量≤0.05mg/L（防止金属氧化）。水路系统配备四级过滤（50μm 预滤 + 10μm 精滤 + 0.2μm 超滤 + 离子交换），颗粒物浓度≤1 个 /cm³（≥0.1μm），满足 Class 10 级洁净室要求。设备采用空气弹簧减震基座（振幅≤0.5μm@10Hz），运行噪音≤40dB（距离 1m），电磁辐射≤20dBμV/m（1GHz 频段），避免干扰镀膜设备的射频信号（噪声水平≤-95dBm）。
半导体级安全架构：具备三级冗余温控保护（主回路 ±0.1℃、备用回路 ±0.2℃、紧急停机 ±0.5℃），响应时间≤10ms。设备整体采用不锈钢 316L 框架，表面经电解抛光与钝化处理，无颗粒脱落（每小时≤1 个 /ft³≥0.5μm）。防护等级达 IP65，适应半导体洁净室（温度 23℃±1℃，湿度 45%±5%）环境，通过 SEMI S2 安全认证，配备泄漏检测系统（检测精度≤0.1mL/min）与超纯水电阻率在线监测（实时显示≥18MΩ・cm）。

三、应用场景

逻辑芯片镀膜车间：用于 12 英寸晶圆铝互联层溅射镀膜冷却，控制靶材温度 20℃±0.05℃，使膜厚均匀性（偏差）≤±1%，方块电阻偏差≤±2%，满足 7nm 制程芯片的电学性能要求。
存储芯片生产车间：在 3D NAND 闪存氧化层 ALD 沉积中，提供 15℃±0.05℃冷却水，确保氧化层厚度（10nm）偏差≤±0.1nm，介电常数稳定性提升至 ±1%，适应高密度存储的绝缘性能需求。
化合物半导体车间：针对 GaN 外延片溅射镀膜冷却，通过双回路控温（反应腔 18℃±0.1℃、射频电源 25℃±0.1℃），使镀膜层应力≤100MPa，缺陷密度≤2 个 /cm²，满足射频器件的高频性能要求。
MEMS 器件镀膜车间：用于微传感器金属电极溅射冷却，控制冷却水温 12℃±0.05℃，使电极线宽偏差≤±0.1μm，附着力（划格测试）达 5B 级，适应 MEMS 器件的微型化与可靠性要求。

品牌迈浦特

型号MPT(W)系列

工作原理螺杆式

类型低温冷水机

冷却方式水冷式冷水机

结构型式螺杆式

热水温度详见技术规格书

运行电耗详见技术规格书

冷却水温度详见技术规格书

适用领域半导体行业

加工定制是

结构类型螺杆式

标准制冷量详见技术规格书

外形尺寸详见技术规格书

管径可根据客户要求定制

风扇详见技术规格书

功率详见技术规格书

电流详见技术规格书

重量详见技术规格书

产地江苏省苏州市昆山市

迈浦特机械（四川)有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式生产加工-私营有限责任公司
联系人马斌
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联系固话-19182204476
公司地址天府大道北段1700号4栋1单元14层1417号

主营业务

高低温一体机，冷热一体机，模温机，油温机

迈浦特科技2010年成立于香港，苏州迈浦特机减有限公司是迈浦特机械在大陆设立的生产基地，并于2017年在南通成立南通迈浦特机械有限公司，于2021年在广东深圳成立深圳迈浦特机械有限公司以及2024年在四川成立迈浦特机械有限公司公司一直致力于TCU温控系统，新能源温控测试系统、高低温一体机，模具温度控制机，冷水机，冷热一体机等温度控制机的研发、生产、销售、服务和技术咨询，提供全方位工业温度控制技术及解决方案的高端供应商迈浦特信助于多年成功经验，以专业技术，在压铸，食品，化工，医疗，印刷，包装，复合材料，电池包、测试机，橡胶压延等科研行业提供所需的各种温控设备和技服务，为客户们提供各种应用工艺过程中加热或冷却，恒温的技术服务，不仅仅是提供设备，我们提供更多的是解决方案以及对使用者的合理建议，注重客户的使用感受，对设备品质孜孜不的追求，得到业界和使用客户一致认可，是替代进口设备的可靠选择。