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非气态源化学气相沉积系统

来自安徽贝意克设备技术有限公司

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发布时间 2021-03-02 08:37:21 关注次数 432

安徽贝意克设备技术有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

主要特点

此款设备由电动滑轨式管式炉、三路供气系统、真空及过滤系统、前驱体鼓泡装置，气体预热装置、软件控制等部分组成。适用于前驱体为非气态源，如固态或液态前驱体，前驱体灌温度可达400℃，且温度独立可调，固态或液态前驱体在一定温度下蒸发后通过惰性气体带入反应区域参与的一些CVD反应。

设备结构

1. 左右两端进气抽气可相互切换；提高基体上涂层的均匀性；

2. 炉体底部在电机带动下可在导轨上水平移动，移动速度根据工艺需要可设置。

3. 采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。

4. 供气系统可以按照客户的实验需求配置几路质量流量计，流量计的量程可选，真空系统也可以根据客户的需求选择配置各种真空泵。

技术参数：

加热系统

最高温度	1200℃（1 hour)
使用温度	≤1100℃
炉膛有效尺寸	Φ40*800mm（炉管直径可根据实际需要定制。）
炉膛材料	高纯氧化铝纤维
热电偶类型	K型热电偶
控温精度	±1℃
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定，
控温方式	操作界面为10”工控电脑，内置PLC控制程序
加热长度	150mm
恒温长度	70mm
加热原件	电阻丝
供电电源	220V，50Hz
额定功率	2KW

三路质子流量控制系统

连接头类型	Φ6mm双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	100sccm，100sccm、200sccm；（可根据用户要求定制）
准确度	±1.5%
线性	±0.5～1.5%
重复精度	±0.2%
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
最大压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''

真空机组

工作电电压	220V±10% 50~60HZ
功率	1千瓦
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10-1Pa
耐压值	0.03MPa
容油量	1.1L
进排气口径	KF25
噪音	50dB
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

品牌其他

型号BTF-1200C-S-SL-CVD

产地其他

安徽贝意克设备技术有限公司

公司类型私营合伙企业
经营模式生产加工-私营合伙企业
联系人贝意克
联系手机17354094989
联系固话0551-65146333
公司地址安徽省合肥市高新区科学大道110号新材料园

主营业务

升华仪，管式炉，PECVD,CVD

安徽贝意克设备技术有限公司坐落在合肥市高新区科学大道110号，是一家专注于新材料、新能源设备的研发生产与一体的国家级高新技术企业，合肥市科技小巨人企业，合肥市新能源设备模范企业。公司拥有多名专家顾问，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司拥有400平米的重点实验室，部分实验室对外开放。公司拥有专利35项，其中发明专利项15项，创造国内空白的有9项，其中5项国际领先。涉及领域包括，石墨烯、碳纳米管、高温荧光粉、OLED有机小分子材料、PECVD系统等。另外公司拥有智能高低温CVD系统、各种真空气氛管式炉，各种高低温箱式炉、等离子清洗设备、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、各种功能的球磨机、金属陶瓷切磨抛设备、氧化锆齿科烧结炉等设备。