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连续进出料可回转CVD系统

来自安徽贝意克设备技术有限公司

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发布时间 2019-10-22 14:47:24 关注次数 893

安徽贝意克设备技术有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

1、主要特点

该设备炉管可360°旋转，有助于粉料的烧结更均匀，可大角度倾斜，方便进出料，倾斜角度在0-35°之间。

2、设备组成：加热系统，进料系统，出料系统，气体控制系统，低真空系统，炉管转动系统，电控操作系统。

（1）加热系统：

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。

额定功率	4KW
额定电压	AC220V 50/60Hz
最高温度	1200度
使用温度	1100度
炉管尺寸	Φ604202+Φ100*360mm
炉管旋转速率	0~60r/min
炉体倾斜角度	0~35°
炉膛材料	氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型	K型热电偶
控温精度	±1℃
控温方式	30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为10”液晶触摸屏控制
加热长度	200mm+200mm
恒温长度	250mm
加热元件	电阻丝

（2）进料系统：

送料系统速度连续可调，停止送料且炉体倾斜最大时，物料不会从送料系统外漏，送料系统方便拆卸，拆卸后可手动加料，设备可正常运行。

（3）出料系统：

出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。

（4）气体控制系统：

该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的，也可以独立控制，质量流量计安装于密封的可移动的机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

连接头类型	双卡套不锈钢接头
标准量程（N₂)	第一路: 200 SCCM 第二路: 500 SCCM 第三路量程可选
准确度	±1.5%F.S
线性	±1%F.S
重复精度	±0.2%F.S
响应时间	气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围	0.1～0.5 MPa
最大压力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
显示	4位数字显示
工作环境温度	5~45高纯气体
压力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀	Φ6
内外双抛不锈钢管	Φ6

(5)低真空系统：

该系统配备真空机械泵，可以抽真空，可以让设备在真空环境下进行反应。

空气相对湿度	≤85%
工作环境	5℃～40℃
工作电电压	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽气速率	10m³/h
极限真空	5X10^-1Pa
工作压力范围	1.01325X105～1.33X10^-2Pa
耐压值	0.03MPa
容油量	1.1L
进气口口径	KF25
排气口口径	KF25
噪音	50dB
连接方式	采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连

(6)炉管转动系统：

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。

3.技术指标：

（1）该设备炉管可360度旋转，管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀；

（2）整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜，方便出放料，倾斜角度在0~35°之间可调；

（3）送料系统送料速度连续可调，停止送料且炉体最大倾斜时，物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸，拆卸之后可以手动加料，设备可正常运行。

（4）炉管回转稳定，不会上下左右跳动；转速在0~60r/min连续可调，能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)。

品牌BEQ

型号BTF-1200C-II-R-CVD

电源其他

加工定制是

外形尺寸其他

安徽贝意克设备技术有限公司

公司类型私营合伙企业
经营模式生产加工-私营合伙企业
联系人贝意克
联系手机17354094989
联系固话0551-65146333
公司地址安徽省合肥市高新区科学大道110号新材料园

主营业务

升华仪，管式炉，PECVD,CVD

安徽贝意克设备技术有限公司坐落在合肥市高新区科学大道110号，是一家专注于新材料、新能源设备的研发生产与一体的国家级高新技术企业，合肥市科技小巨人企业，合肥市新能源设备模范企业。公司拥有多名专家顾问，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司拥有400平米的重点实验室，部分实验室对外开放。公司拥有专利35项，其中发明专利项15项，创造国内空白的有9项，其中5项国际领先。涉及领域包括，石墨烯、碳纳米管、高温荧光粉、OLED有机小分子材料、PECVD系统等。另外公司拥有智能高低温CVD系统、各种真空气氛管式炉，各种高低温箱式炉、等离子清洗设备、RF溅射设备、各种压力的手动自动压片机、各种功能尺寸的手套箱、各种功能的球磨机、金属陶瓷切磨抛设备、氧化锆齿科烧结炉等设备。