产品特点
l Ÿ 气浮导轨,超高性能精度 Ÿ 重复定位精度±15nm(Sic版)
l Ÿ 平面式气浮结构,减小系统误差影响 Ÿ 直线度优于1μm
l Ÿ 龙门式双驱结构,承载能力强 Ÿ Z轴纳米级定位抖动
l Ÿ 高速,快速的整定时间 Ÿ 可选激光尺位置反馈
l Ÿ 可定制陶瓷材质气浮导轨 Ÿ 优化线缆管理系统
应用领域
QFHDS系列三轴超精密运动台,XY轴平面式气浮结构,Z轴交叉滚柱结构,用于半导体加工、检测、微纳加工等行业。
结构特点
XY轴运动结构共面,两轴的反馈机构在同一个水平面,相当于单轴运动,不存在因叠层引起的阿贝误差,此结构提升动态跟踪误差,高速响应频率及位置稳定性,开发的气浮轴承补偿方法,提高刚性和负载能力,以满足高动态响应的要求,可实现快速运动和极速位置整定。Z轴交叉滚柱导轨结构,安装到龙门横梁上,亚微米级精度,定位抖动优于20nm。更高要求可接受定制,瑞邦精控提供系统解决方案,对环境要求提供专业建议。
直驱设计
采用无铁芯直线电机驱动,实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴安装位置接近于负载水平面,以提高直线度、平面度和倾角误差等。
其他
使用高质量的电缆,带屏蔽功能,防止电子信号的干扰,优化管线的弯曲半径,防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能。根据应用,可安装旋转台,倾角台或晶圆装卸用的夹具等。可安装激光尺或激光干涉仪闭环反馈,提升系统精度性能。
规格指标
型号 |
单位 |
QFHDS-300-300-50 |
QFHDS-400-400-100 |
QFHDS-500-500-200 |
|||||||
轴系 |
— |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
行程 |
mm |
300 |
300 |
50 |
400 |
400 |
100 |
500 |
500 |
200 |
|
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.25 |
±0.1 |
±0.25 |
±0.15 |
|||
标准值 |
±0.2 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.3 |
±0.5 |
±0.3 |
|||||
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.025 |
±0.075 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.05 |
|||
标准值 |
±0.1 |
±0.05 |
±0.15 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
|||||
直线度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.2 |
±0.25 |
±0.5 |
±0.35 |
±0.5 |
±0.75 |
|||
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
|||||
平面度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.2 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.75 |
|||
标准值 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
|||||
Pitch Roll Yaw (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±0.5 |
±1 |
±1 |
±2 |
±1 |
±3 |
|||
标准值 |
±1 |
±5 |
±1.5 |
±5 |
±1.5 |
±7 |
|||||
正交性 |
Plus (1) |
arc sec |
2 |
5 |
2 |
5 |
2 |
5 |
|||
标准值 |
5 |
10 |
5 |
10 |
5 |
10 |
|||||
电子分辨率 (3) |
nm |
0.3 或 5(选配) |
|||||||||
最大速度 (空载) (4) |
m/s |
1 |
0.1 |
1 |
0.2 |
1 |
0.2 |
||||
最大加速度 (空载) (4) |
m/s² |
5,(10, 20, 30 定制) |
5 |
5,(10, 20, 30 定制) |
5 |
5,(10, 20, 30 定制) |
5 |
||||
最大负载 |
kg |
20 |
15 |
20 |
15 |
20 |
15 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±0.5℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-F,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标,最大速度和加速度取决于负载大小。
- 公司类型
- 经营模式-
- 联系人王欣悦
- 联系手机18145668702
- 联系固话-18145668702
- 公司地址
-
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