德国aixACCT激光干涉仪

品牌介绍：

aixACCT是您在材料开发和设备鉴定方面进行电气测试的合作伙伴，并通过提供新的测试概念和系统解决方案缩短了客户新产品的上市时间。产品通过不断创新，涵盖从材料研究到原型测试以及生产过程中的质量保证的整个范围。多年来积累了丰富的设计开发经验以及技术知识，通过不断地研究发展，为客户提供高品质的产品及服务。

产品范围：

德国aixACCT激光干涉仪、共振分析仪、放大器、传感器、执行器。

主要型号：

TF 3000、TF 2000 E、TF 1000

相关产品介绍：

双光束激光干涉仪

aixACCT Systems已将公认的双光束技术扩展到可商用的双光束激光干涉仪系统，以进行长达8英寸的晶圆表征。

用于测量d 33的双光束激光干涉仪（aixDBLI）提供经过验证的精度（x切割石英），max可达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间仅为几秒钟。基于新的数据采集算法，测量速度提高了100倍。这使得比较了以相同激发频率记录的薄膜的电气和机械数据。由于差分测量原理，消除了样品弯曲的影响，这是使用原子力显微镜（AFM）进行此类测量的主要障碍。

测量:

-机电大信号应变和极化测量。

-压电小信号系数和介电常数与直流偏置电压的关系。如果刚度值已知，则可以使用附加的aixPlorer软件工具从这些值得出耦合系数。

-电气和机电性能疲劳。

aixDBLI系统的独特性能使其适用于6“晶片上的MEMS（微机电系统）设备的压电和电气可靠性测试。该系统的良好分辨率和可重复性优于2％，可大规模生产。整个装置包括位于减振室内的光学组件，TF Analyzer 2000和一些附加的模拟电路。

技术数据:

-解析度:1 pm经过x-cut Quartz测试

-位移/应变测量:50 Hz-5 kHz

               100 mV至10 V

 至25 V（可选）

-压电d 33系数：

偏压  ：（1 mHz至1 Hz）

         100 mV至10 V

         至25 V（可选）

小信号：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V

-电致伸缩M 33：类似于d 33

-C（V）测量:

偏压  ：（1 mHz至1 Hz）

          100 mV至10 V

          至25 V（可选）

小信号：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V

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