SuperViewW1白光干涉仪以白光干涉技术为原理,采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。是一款专用于超精密加工领域的光学检测仪器,其分辨率可达0.1nm。
技术指标
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快、效率高
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
注释:更多详细产品信息,请联系我们获取
测量方法
1. 点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心
2. 将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合;
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;
5.设置好扫描方式和扫描范围;
6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误;
7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状;
8.根据被测物形状和尺寸,"形状"栏选择“椭圆平面",X和Y方向按需设置;
9.点击弹出框右下角的“开始"图标,仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。
SuperViewW1白光干涉仪应用
在集成电路行业,SuperView W1系列白光干涉仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在3C领域,SuperView W1系列白光干涉仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度;
在EMES行业,SuperView W1系列白光干涉仪可以测量台阶高度和表面粗糙度;
在光纤通信行业,SuperView W1系列白光干涉仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度;
在LED行业,SuperView W1系列白光干涉仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度。
- 公司类型私营有限责任公司
- 经营模式生产加工-私营有限责任公司
- 联系人罗建
- 联系手机18928463988
- 联系固话0755-83311192
- 公司地址深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼
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