莱宝真空泵在半导体工业中的关键作用：工艺革新与先进制程的真空解决方案

首页> 产品> 泵> 真空泵> 超高真空度真空泵

来自东莞市飞粤真空科技有限公司

¥29999.00

发布时间 2025-04-23 11:13:16 关注次数 20

东莞市飞粤真空科技有限公司

免费会员 1年

进入店铺

店铺留言

商家供应

图文介绍产品参数供应商信息

莱宝真空泵在半导体工业中的关键作用：工艺革新与先进制程的真空解决方案

半导体制造中的真空技术基础
莱宝真空泵作为半导体制造的核心设备之一，为整个产业提供了关键的真空环境支持。在半导体制造过程中，真空技术主要实现以下功能：
- 创造无污染环境（避免氧化和杂质掺入）
- 控制气体流动和化学反应
- 实现精确的材料沉积和蚀刻
- 保证工艺重复性和稳定性

莱宝真空泵在关键制程环节的应用
1. 薄膜沉积工艺
(1) 化学气相沉积(CVD)
- 应用场景：介电层(SiO₂、SiN)、多晶硅、金属层的沉积
- 技术要点：莱宝涡轮分子泵提供10⁻⁶~10⁻⁸ mbar的高真空环境
- 设备优势：干式运行避免油污染，确保薄膜纯度和均匀性

(2) 物理气相沉积(PVD)
- 溅射镀膜：用于Al、Cu、Ti等金属层的沉积
- 蒸发镀膜：高真空环境(10⁻⁷ mbar)下的金属蒸镀
- 莱宝解决方案：MAGiNTEGRA系列涡轮分子泵提供稳定真空基础

2. 离子注入工艺
- 工艺要求：10⁻⁴~10⁻⁶ mbar的工作压力
- 莱宝设备：RUVAC WH系列罗茨泵与干式前级泵组合
- 技术优势：快速抽空能力，精确控制注入环境

3. 光刻技术
(1) EUV光刻
- 特殊需求：极高真空(10⁻¹⁰ mbar)和氢气处理能力
- 莱宝创新：专门开发的氢气兼容涡轮分子泵
- 性能指标：抽速达2000 m³/h，满足7nm以下制程需求

(2) 传统光刻
- 真空应用：光刻胶处理、掩模版清洁
- 设备选择：SCROLLVAC干式涡旋泵

4. 蚀刻工艺
- 等离子蚀刻：精确控制反应气体和副产物排除
- 深硅蚀刻：高深宽比结构的刻蚀控制
- 莱宝方案：COBRA干式泵耐腐蚀设计，处理活性气体

先进封装中的真空应用
1. 3D封装技术
- TSV硅通孔工艺：真空环境下的深孔刻蚀和填充
- 晶圆键合：真空环境下的分子级键合

2. 倒装芯片封装
- 底部填充：真空辅助毛细流动
- 回流焊：真空环境减少焊料氧化

特殊材料加工应用
1. 第三代半导体制造
- GaN外延生长：MOCVD设备的真空系统
- SiC器件制造：高温工艺的真空解决方案

2. 存储器制造
- 3D NAND：多层堆叠结构的真空沉积和蚀刻
- DRAM：高深宽比电容结构的形成

莱宝真空泵的技术优势
1.洁净度保障
- 全干式运行设计
- 零油蒸汽反流
- 适合Class 1洁净室

2. 工艺稳定性
- ±1%的压力控制精度
- 快速响应气体负荷变化
- 24/7连续运行可靠性

3. 能效表现
- 变频驱动节能技术
- 热量回收系统
- 比传统泵节能30-40%

4. **智能化功能**
- 实时振动监测
- 预测性维护系统
- 远程诊断接口

未来技术发展趋势
1. 面向2nm及以下制程
- 更高抽速的分子泵研发
- 极低振动设计
- 超高真空稳定性控制

2. 新型存储技术支持
- MRAM制造工艺适配
- 相变存储器真空需求

3. 绿色制造
- 进一步降低能耗
- 减少全生命周期碳足迹

莱宝真空泵通过持续技术创新，为半导体工业提供从成熟制程到先进工艺的全方位真空解决方案，成为半导体制造装备链中不可或缺的关键环节。

品牌莱宝

型号SV750

输送介质油泵

驱动方式电动泵

介质温度类型高温泵

材质铸铁

最大出口压力类型高压泵(32MPa≤Pd＜100MPa)

叶片式泵叶轮级数多级泵

叶片式泵吸入方式单吸泵

叶片式泵叶轮形式封闭式叶轮

叶片式泵壳体型式节段式

叶片式泵泵轴位置卧式泵

结构类型罗茨式

颜色黑色白色

东莞市飞粤真空科技有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式经销商-私营有限责任公司
联系人刘瑜洁
联系手机15079723172
联系固话0769-81821682
公司地址东莞市寮步镇向西村振南四巷9号1楼

主营业务

公司主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养

东莞市飞粤真空科技有限公司位于广东省东莞市寮步镇，公司成立于2012年，是一家专业生产、销售真空设备及进口真空泵维修、提供真空系统解决方案的高新科技企业，为广大用户提供可靠的、安全易用的真空设备及优质专业的服务。公司拥有一支集研发、生产、销售、售后为一体的强大队伍，优质的真空泵产品、专业的真空技术、在真空系统建造方面有丰富的经验以及快速响应的服务，为客户提供理想、完善的真空解决方案并赢得了广泛认可。　公司主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养，真空泵机组及中央真空系统设计安装；主营品牌:德国BUSCH普旭，Rietschle里其乐/伟力，Leybold莱宝，Becker贝克，英国BOC Edwards爱德华，日本ULVAC爱发科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法国ALCATEL阿尔卡特，德国Pfeiffer普发,韩国KODIVAC大亚、DOVAC斗一等国际知名品牌；飞粤真空定制的真空系统广泛用于电子半导体、太阳能光伏、生物制药、食品业、印刷业、汽车、自动化工程等行业。专业技术团队可为不同需求客户定制中央真空系统（厂务真空系统），设计、安装、调试一条龙服务。在高速成长的过程中，飞粤真空本着专业务实的实干精神，以不断优化客户体验为己任，精益求精为客户提供一流的真空设备产品服务，公司愿与新老客户合作伙伴携手共进，同谋发展，共创辉煌。