爱发科真空泵：电子行业高精密制造的真空技术基石

电子行业核心应用场景 

爱发科真空泵在电子制造中扮演关键角色，覆盖从半导体到消费电子的全产业链：  

1. 半导体制造  

   - 薄膜沉积（CVD/PVD/ALD）：为纳米级薄膜（如高k介质、铜互连层）提供超洁净真空环境。  

   - 等离子刻蚀：快速抽除反应气体副产物（如Cl₂、CF₄），保障刻蚀精度。  

   - EUV光刻：超低极限真空（≤10⁻⁸ Pa）支持极紫外光刻胶涂布与显影。  

2. PCB与封装 

   - 真空层压：多层板压合时排除气泡，提升电路板可靠性。  

   - 芯片塑封：真空环境避免封装材料孔隙，降低器件失效风险。  

3. 显示屏制造  

   - OLED蒸镀：维持高真空（10⁻⁴ Pa）确保有机材料均匀沉积。  

   - 液晶灌注：快速抽真空后注入液晶，避免杂质混入。  

4. 电子元件生产  

   - 磁控溅射镀膜：为传感器、连接器金属化提供稳定真空。  

   - 真空钎焊：精密电子元器件的无氧化焊接。  

爱发科真空泵的核心特点与性能

差异化优势与客户价值

1. 成本优化  

   - 干式泵无耗材设计，5年维护成本比油泵低 60%（以单台设备计，节省超$50,000）。  

   - 智能变频技术减少待机能耗，年节电1.5万度（约$2,000）。  

2. 良率提升

   - 真空稳定性（压力波动±0.5%）使薄膜均匀性标准差从1.2nm降至0.3nm，芯片良率提高 8%~12%。  

3. 快速扩产支持 

   - 模块化设计支持抽速扩展（如从200 L/s升级至2000 L/s），适配晶圆厂从8英寸到12英寸的产线升级。  

4. 绿色制造 

   - 零油污排放，符合ISO 14064与半导体行业ESG标准，助力企业碳中和目标。  

行业实证案例

案例1：3D NAND存储芯片量产 

- 痛点：200层堆叠工艺中，传统泵真空波动导致薄膜阶梯覆盖率不足90%。  

- 方案：爱发科 **MAGiQ系列磁悬浮分子泵+干式前级泵**。  

- 成果：  

  - 真空稳定性提升至±0.3%，阶梯覆盖率＞99%；  

  - 单台设备年节省电费$8,500，维护成本降低45%。  

案例2：柔性OLED屏真空蒸镀  

- 痛点：油蒸气污染导致发光层暗点缺陷率5%。  

- 方案：替换为爱发科 iDRY系列全干式真空泵。  

- 成果：  

  - 缺陷率降至0.2%，屏幕亮度均匀性达98%；  

  - 设备综合效率（OEE）从82%提升至93%。  

爱发科真空泵通过 超洁净、高稳定、智能化 三大技术支柱，成为电子行业精密制造的核心支撑：  

1. 技术领先性：磁悬浮分子泵与干式泵技术打破油污染瓶颈，适配3nm以下先进制程；  

2. 商业价值：良率提升与能耗降低直接推动客户利润率增长，5年综合成本下降40%；  

3. 未来兼容性：模块化设计预留AIoT接口，支持与智能制造系统（MES）无缝对接。