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采用旋转电主轴的高速精密立式减薄机

来自深圳市方达研磨技术有限公司

¥28880.00

发布时间 2024-03-09 16:31:28 关注次数 87

深圳市方达研磨技术有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

主要用途：

本设备主要用于蓝宝石衬底、硅片、陶瓷片、光学玻璃、石英晶体、其它半导体材料等

非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的高速减薄。

立式减薄机主要特点：

1、吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘，吸盘大小可根据客户需求定制，

直径320-600mm。

2、砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴，驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要

求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。

3、砂轮进给模式分三段设置，能更方便地设置有效的减薄方案，提高减薄后的精密度和表面效果.

4、对刀方式在不改变砂轮和吸盘的情况下，针对不同厚度的工件只需要一次对刀就可以

连续工作，不需要每次都要对刀。

5、本机采用高精密丝杆及导轨组件，驱动方式是伺服驱动，可根据不同材质的工件及工艺

要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速，也就是砂轮的进刀速度，速度

0.001-5mm/min可调，控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。

6、本机采用先进的台湾品牌PLC和触摸屏，自动化程度高，实现人机对话，操作简单一目了然。

7、设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度，从而防止工件磨削过程中因压力过大

产生变形及破损，自动补偿砂轮磨损厚度尺寸，可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而

不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。

8.减薄效率高，LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度可减薄250微米。

主要技术参数：

吸盘盘规格	Φ320~Φ600	主电机	2.2KW/ 0~280RPM
砂轮规格	Φ150~Φ210	砂轮进给伺服电机	750W
减薄工件厚度b	0.08mm≤b≤50mm	高速旋转主轴	4.5KW/ 3000~8000RPM
减薄平行度	±2um（50x50）	砂泵电机/冷却电机	AB-100 250W
研磨工件理想规格	Φ50	工作工位	依据产品而定
光栅控制系统	分辨率0.001mm	设备外形尺寸	1150x200x1750mm
磨轮重复定位精度	3um	设备质量	700kg

品牌方达研磨

型号FD-320

类型平面及端面磨床

用途专用

控制形式数控

精密程度高精度

自动程度自动

布局形式立式

适用行业半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料

作用对象蓝宝石衬底,硅片,陶瓷片,光学玻璃,石英晶体,其它半导体材料等

最大砂轮直径,210MM

最大磨削直径,50MM

工作台面宽度,320

主电机功率2.2KW

砂轮转速280RPM

外形尺寸1150x200x1750mm

重量700kg

产地广东山东

加工定制是

深圳市方达研磨技术有限公司

公司类型个体工商户
经营模式生产加工-个体工商户
联系人刘洁霞
联系手机18588205569
联系固话0755-26527403
公司地址公明上村元山工业区B区 33栋

主营业务

研磨机,抛光机,减薄机

深圳市方达研磨技术有限公司创建于2007年，位于深圳市光明新区方达工业园，注册资金1000万元，公司厂房面积约13000平米，是国内首家从事平面研磨抛光技术的企业。公司专业研发、生产、销售各种高精密平面研磨设备、平面抛光设备、高速减薄设备，3D抛光设备及其配套耗材。其产品广泛适用于碳化硅、蓝宝石、硅片等晶圆和其他半导体材料，以及机械、电子、陶瓷、光学晶体、航空、汽车、模具等零部件的精密加工。客户群遍及国内外，其代表有华为、中电集团、比亚迪、苹果、中航、长盈、米亚、通达、中环半导体，浙江晶盛、通富微电、迈瑞、金瑞泓等众多知名企业。公司经过多年的积累与沉淀，打造出一支高素质的研发与管理团队，公司产品具有很强的技术更新能力和市场竞争力。目前有多项产品填补了国内研磨抛光行业的空白，已达国际先进水平。我司在设备与工艺上已获28项实用新型技术，于2013年被评为国家级高新技术企业。我们以质量为生命，时间为信誉，创新为竞争力的经营理念，不断吸收新创意，严把质量关，全方位的跟踪服务，坚持做高品质产品，立足于行业的引导者。