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哈默纳科真空设备谐波齿轮CSF-50-160-2UH

来自上海浜田实业有限公司

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发布时间 2024-04-16 09:48:38 关注次数 1900

上海浜田实业有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

刻蚀的主要工艺参数有：刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差、选择比、哈默纳科真空设备谐波齿轮CSF-50-160-2UH均匀性、残留物、聚合物、等离子体诱导损伤、颗粒玷污和缺陷。

1.干法刻蚀

在半导体制造中，干法刻蚀是用来去除表面材料的最主要的刻蚀方哈默纳科真空设备谐波齿轮CSF-50-160-2UH法。干法刻蚀是把硅片表面暴露于气态中产生的等离子体，等离子体通过光刻胶中开出的窗口与硅片发生物理或化学反应，从而去掉暴露的材料。

一个等离子体干法刻蚀系统由发生刻蚀反应的反应腔、一个产生等离子体的射频电源、气体流量控制系统、去除刻蚀生成物和气体的真空系统等组成。刻蚀反应系统包括传感器、气体流量控制单元和终点触发探测器。哈默纳科真空设备谐波齿轮CSF-50-160-2UH一般的干法刻蚀中的控制参数包括真空度、气体混合组分、气流流速、温度、射频功率和硅片相对于等离子体的位置

品牌HarmonicDrive

型号CSF-50-160-2U

类型谐波减速器

载荷状态强冲击载荷

传动比级数无级

轴的相对位置卧式减速器

传动布置形式摆线式

加工定制是

样品或现货现货

齿面硬度软齿面

布局形式三环式

用途变速机

输入转速3000rpm

额定功率360kw

输出转速范围50rpm

许用扭矩691N.m

使用范围化工

减速比877

产地日本

上海浜田实业有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式代理商-私营有限责任公司
联系人张工
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公司地址上海市嘉定区爱特路877号歆翱国际商务园D幢510室

主营业务

上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋

上海浜田实业有限公司专业致力于传动控制行业。面向工业机器人、半导体、机床、医疗器械、船舶、点胶、印刷、精密电子设备等行业中的运动控制技术。上海浜田实业有限公司为日本哈默纳科（HarmonicDrive简称HD）中国地区一级代理商，日本HDSI公司是整体运动控制的领军企业，其生产的HarmonicDrive谐波减速机，具有轻量、小型、传动效率高、减速范围广、精度高等特点，被广泛应用于各种传动系统中。专业的技术，完善的售后，让您的选择无后顾之忧，欢迎您的来电洽谈！