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半导体生产中的热处理工艺主要是退火工艺。在离子注入后,日本HD高温硅片谐波CSF-11-50-2A-R硅片的晶格因原子撞击而损伤。另外被注入离子不占据硅的晶格,处于晶格间隙位置。经过退火处理后杂质原子被激活,运动到硅片晶格上。退火同时修复了晶格损伤。
1.热处理工艺
晶格修复温度大约为500℃,日本HD高温硅片谐波CSF-11-50-2A-R激活杂质原子温度大约为950℃。硅片退火使用两种方法。
(1) 高温退火
在高温炉中将注入杂质的硅片加热至800~1000℃,日本HD高温硅片谐波CSF-11-50-2A-R保温30分钟。在此温度下可修复晶格损伤,并且实现硅晶格上原子的替换。这种热处理工艺会造成杂质的扩散。
(2) 快速热处理
快速升温到1000℃,并且快速对硅片进行退火处理。通常在通入Ar或N2的快速热处
品牌HarmonicDrive
型号CSF-11-50-2A-R
类型谐波减速器
载荷状态中等冲击载荷
传动比级数双级
轴的相对位置立式加速器
传动布置形式同轴式
加工定制是
样品或现货现货
齿面硬度软齿面
布局形式摆线式
用途减速机
输入转速1450rpm
额定功率15kw
输出转速范围111rpm
许用扭矩1782N.m
使用范围工业
减速比60
产地日本
上海浜田实业有限公司
- 公司类型私营有限责任公司
- 经营模式代理商-私营有限责任公司
- 联系人张工
- 联系手机13162861726
- 联系固话1316-2861726
- 公司地址上海市嘉定区爱特路877号歆翱国际商务园D幢510室
主营业务
上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
上海浜田实业有限公司专业致力于传动控制行业。面向工业机器人、半导体、机床、医疗器械、船舶、点胶、印刷、精密电子设备等行业中的运动控制技术。
上海浜田实业有限公司为日本哈默纳科(HarmonicDrive简称HD)中国地区一级代理商,日本HDSI公司是整体运动控制的领军企业,其生产的HarmonicDrive谐波减速机,具有轻量、小型、传动效率高、减速范围广、精度高等特点,被广泛应用于各种传动系统中。
专业的技术,完善的售后,让您的选择无后顾之忧,欢迎您的来电洽谈!
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