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ESC静电卡盘

来自深圳市天力士机械有限公司

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发布时间 2021-04-17 14:07:21 关注次数 1192

深圳市天力士机械有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

ESC静电卡盘

静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护；静电吸附单元电极采用高频导体，表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜，另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜，在保证输出稳定，同时避免高压静电压尖锐击穿。

品牌TANISS

型号6寸

类型元素半导体材料

材质其他

产品名称ESC静电卡盘E-CHUCK

牌号TANISS

用途晶圆刻蚀

颜色其他

规格尺寸6寸

深圳市天力士机械有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式其他-私营有限责任公司
联系人李曼
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联系固话0755-18923335227
公司地址福永街道立新路金菊花园d栋

主营业务

划片刀、微孔陶瓷真空吸盘、ESC静电卡盘、半导体吸嘴

深圳天力士（taniss）有限公司，16年来一直致力于晶圆划片刀的研发与应用。产品品质不断提高，为客户提供高性价比的产品。产品已销往国内外几百家企业，并得到了客户的青睐与信任。