ERT光谱共焦传感器参数选型表
(1)表中给出的数值是典型值,LHCLO,LHCL2,LHCL3,LHCL4有±3%的偏差;LHCL1,LHCL5,LHCL6有±6%的偏差;
(2)最大可测倾角是指针对镜面反射表面时的极限角度值。漫反射表面的最大可测倾角可达87。:
(3)在量程中间位置时的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程远端光斑更大,从中心分别到近端远端差异10%左右;
(4)光度收集率是指由不同的测头测量同一样品收集的能量,是相对单位量,此表中的数值为典型值。测量高度反射的样品时,选择低光度收集率的型号,为了避免饱和,测量扩散或低反射的样品时,选择具有高光度收集率型号,以避免一个非常低的信号与噪声比例;
(5)轴向分辨率RMS是对静止样品测得的噪声电平。在量程的中心,以最佳的速率进行测量,内部的平均分别设定为1-10。此参数为校准后立即测量,并对应交付每个传感器的校准证书;
(6)精度是由1nm精度的编码器做比较校准,由所述传感器测量距离时,在整个测量范围内的最大误差。使用以下设置:自动适应LED模式,最优的速度,倾角为0。,内部平均=测量值/10。此参数为校准后立即测量,并指定每个传感器的校准证书交付;
(7)最小可测量的Ra的精度取决于样品的恃性,表中所给的值是典型的;
(8)在最佳的速度下,测量范围的中心,测量的典型值,不加平均。折射率=1.5个样本(测量空气间隙应除以1 5的厚度时);
(9)可测半径为测头直径加工作距离。
注:以上参数如有变化,恕不另行通知。
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