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PLCVD设备,青岛厂家源头发货
来自青岛福润德微电子设备有限公司
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发布时间  2024-09-24 09:45:00 关注次数  104
青岛福润德微电子设备有限公司
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图文介绍 产品参数 供应商信息

满足半导体集成电路,电力电子器件,光电子等行业用于在硅片上淀积SiO2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜工艺。


CVD系统性能特点:


结构形式:1—4管卧式热壁型
硅片规格:2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)
温度范围:300~1100℃
恒温区长度及精度:200ram—1000mm(±1℃/24h)
淀积薄膜均匀性:片内±5%   片间±5%   批间±5%
沉积膜厚度:600~15000A
系统极限真空度:优于1Pa
工作压力范围:20~133Pa闭环控制
控制方式:工业微机
送料装置:悬臂推拉舟、软着陆系统
淀积薄膜分类:Si 3N4、SiO2、PSG、Poly-Si膜
真空泵:罗茨泵、机械泵
工艺气路:5路气/管。VCR接口
40KHz脉宽调制AE高频电源
装片量:200片/舟

品牌福润德
型号福润德
类型其他
加工定制
规格尺寸其他
青岛福润德微电子设备有限公司
  • 公司类型私营有限责任公司
  • 经营模式生产加工-私营有限责任公司
  • 联系人张琪
  • 联系手机13606426381
  • 联系固话86-13606426381
  • 公司地址青岛市
主营业务
太阳能扩散炉,程控高低温扩散炉,隧道炉
青岛福润德微电子设备有限公司坐落在山东省青岛市城阳区北万工业园,交通便利,环境优美,距离流亭国际机场仅五公里,现有厂房面积2000余平方米,固定资产800万元,共有员工50余人,工程技术人员10余人。是一批具有丰富技术经验和敬业精神的优秀团队所组成,是我国微电子专用设备定点生产厂家之一,中国半导体专用设备行业协会理事单位,在国内外享有盛誉,为国家计划做出重大贡献。 青岛福润德微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的高新技术企业。目前的主要产品有:太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、热氧化扩散炉、低压化学气相沉积设备,真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、高纯材料提纯专用氧化炉、升华炉、还原炉、精馏炉、高精度智能温度控制系统和替代进口的扩散炉炉体、PECVD炉体及采用德国技术生产的涡街流量计,同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。 “以人为本,欲做生意,先学做人”的立厂之根,和“以客户至上,服务无止境”的立厂之本,坚持产品设计和服务质量的持续发展,青岛福润德会不断创新,提高核心竞争力,以高品质的产品、优质的售后服务、合理的价格与新老客户真诚合作。
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