免费会员
进入店铺
店铺留言商家供应
图文介绍
产品参数
供应商信息
LED专用炉主要满足LED芯片制造行业，对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。 主要性能指标：
外型形式：卧式1—4管结构，水平炉管
外型形式：卧式1—4管结构，水平炉管
恒温区长度：≥600mm
硅片规格：适用于2—6英寸硅片以及碎片
恒温区精度：≤±1℃(在400—1000℃范围内)
单点温度稳定性、重复性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范围内)
温度过冲平衡：载料进炉，温度平衡到工艺时间，低于10分钟
工艺气体及控制：氮气、氧气，MFC或浮子流量计控制
气路系统气密性：1×10-7PaM3/S
送料机构：悬臂石英杆载料，手动
报警系统：工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
控制方式：工控机总程控制、触摸屏控制
外型形式：卧式1—4管结构，水平炉管
外型形式：卧式1—4管结构，水平炉管
恒温区长度：≥600mm
硅片规格：适用于2—6英寸硅片以及碎片
恒温区精度：≤±1℃(在400—1000℃范围内)
单点温度稳定性、重复性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范围内)
温度过冲平衡：载料进炉，温度平衡到工艺时间，低于10分钟
工艺气体及控制：氮气、氧气，MFC或浮子流量计控制
气路系统气密性：1×10-7PaM3/S
送料机构：悬臂石英杆载料，手动
报警系统：工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
控制方式：工控机总程控制、触摸屏控制
品牌其他
型号LED专用炉
类型其他
加工定制是
规格尺寸其他
青岛福润德微电子设备有限公司
- 公司类型
- 经营模式-
- 联系人徐鲁阳
- 联系手机13668894181
- 联系固话-
- 公司地址
主营业务
扩散炉、烧结炉、链式炉、氢气炉等
