Item

HH400

HH500

HH600

HH700

HH800

Frame

Welded tubular construction with support,The surface is coated with white paint

Wafer Transport Plane

1100mm(Per SEMI std.E 21-91)

Process Facets

Up to 3

Up to 3

Up to 4

Up to 5

Up to 6

Vacuum Robot

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

HHVRD3/4

Arm Blade

Customized according to customer specifications,;Optional:1 Blade,2 Blade and 4 Blade;Material optional

Load Locks 

Provides Load Locks(1 or 2) and Slot(1 or 2 or 4 etc) Number customization

Lid

View Ports Optional

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Lid Lift Mechanism

Option:Cooling Station,VPA Station or Separating Station 

Optional Chamber

AWC

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

< 0.05mm

Base Vacuum

5 x 10−8 Torr

5 x 10−8 Torr

5 x 10−8 Torr

5 x 10−8 Torr

5 x 10−8 Torr

Leak Rate

<1 x10−9std.cc/sec  He

<1 x10−9std.cc/sec  He

<1 x10−9std.cc/sec  He

<1 x10−10std.cc/sec  He

<1 x10−9std.cc/sec  He