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济南高纯氮气检测

从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、医疗、环保和高端装备制造等领域。其中，电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与 发达国家相比，尚有较大差距；高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域；标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀， 稳定性良好和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气基本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求，但对活性较强的标准气， 国内尚无法彻底解决量产问题。

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在 2018 年我国特种气体年销售额中，电子行业约占 41%，石油化工约占 39%，医疗 环保约占 10%，其它约占 10%。

广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是最重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。