处理方式:

通过高压震荡风吹出把工作物表面粉尘吹离膜面,再利用负压风同时带离
表面,造成无接触式除尘,是一种高效安全清洁的干式去除粉尘设备

需要去除的产品表面的污染物类型：主要是干燥的颗粒浮尘; (粘性尘埃
及水迹不能处理)

除去率：1.6 um, 3μｍ-5μｍ≥98%

工作尺寸：点状或长度L=20-500mm（超过500mm亦可订制）

干式清洗特点：

• 干式清洗不需要更换水或药液，洗后不用干燥，降低运行成本
• 非接触式系统不会污染基板及损伤基板表面膜
• 由于清洗机是闭循环系统，不会污染净化间