主要用途:
本设备主要用于蓝宝石衬底、硅片、陶瓷片、光学玻璃、石英晶体、其它半导体材料等
非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的高速减薄。
立式减薄机主要特点:
1、吸盘根据客户的工艺要求可分为电磁吸盘和真空吸盘,吸盘大小可根据客户需求定制,
直径320-600mm。
2、砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速可以根据不同的工艺要
求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。
3、砂轮进给模式分三段设置,能更方便地设置有效的减薄方案,提高减薄后的精密度和表面效果.
4、对刀方式在不改变砂轮和吸盘的情况下,针对不同厚度的工件只需要一次对刀就可以
连续工作,不需要每次都要对刀。
5、本机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺
要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度
0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。
6、本机采用先进的台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。
7、设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大
产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而
不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
8.减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟磨削速度可减薄48微米。硅片每分钟磨削速度可减薄250微米。
主要技术参数:
吸盘盘规格 |
Φ320~Φ600 |
主电机 |
2.2KW/ 0~280RPM |
砂轮规格 |
Φ150~Φ210 |
砂轮进给伺服电机 |
750W |
减薄工件厚度b |
0.08mm≤b≤50mm |
高速旋转主轴 |
4.5KW/ 3000~8000RPM |
减薄平行度 |
±2um(50x50) |
砂泵电机/冷却电机 |
AB-100 250W |
研磨工件理想规格 |
Φ50 |
工作工位 |
依据产品而定 |
光栅控制系统 |
分辨率0.001mm |
设备外形尺寸 |
1150x200x1750mm |
磨轮重复定位精度 |
3um |
设备质量 |
700kg |
- 公司类型个体工商户
- 经营模式生产加工-个体工商户
- 联系人刘洁霞
- 联系手机18588205569
- 联系固话0755-26527403
- 公司地址公明上村元山工业区B区 33栋
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