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日本BETHEL热分析仪器热物性显微镜TM3B

来自深圳市阿莱思斯科技有限公司

¥1.00

发布时间 2018-08-17 17:07:16 关注次数 1125

深圳市阿莱思斯科技有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

热物性显微镜 TM3B主要是测量热物性值中热渗透率的一种设备，可以进行微小领域（微米等级）和纳米薄膜等的测量。

热物性显微镜TM3B的优势：

・热物性显微镜是测量热物性值中热渗透率的一种设备；

・可以通过点、线、面测量样品的热物性；

・可测量微米等级的热物性值的分布；

・全球首个非接触方式且高分辨率的热物性测量设备；

・检测光点径3μm、高分辨率来测量微小领域的热物性（点、线、面测量）；

・可改变深度范围进行测量，从薄膜、多层膜到散装材料都可测量；

・基板上的样品也可测量；

・激光非接触式测量；

・可检测薄膜下的裂纹、孔隙、脱落等问题。

微小领域（微米等级）、纳米薄膜、Sic（单晶体、多晶体）、AIN等的测量。

主要规格
名称／商品名	热物性显微镜／Thermal Microscope
测量模式	热物理性分布测量（1次元・2次元・1点）
测量项目	热渗透率、（热扩散率）、（热传导率）
检测光点径	约3μm
1点测量标准时间	10秒
测量对象薄膜	厚度数百nm～数十μm
重复精度	耐热玻璃、硅的热渗透率±10%以内
样品	・样品支架 30mm×30mm，厚度5mm，样品表面的镜面需要研磨
样品	・板状样品30mm×30mm以内，厚度3mm以内，样品表面需Ｍｏ溅镀
使用温度范围	24℃±1℃（根据设备内部温度感应器）
平台移动距离	・Ｘ轴方向20mm ・Ｙ轴方向20mm ・Ｚ轴方向10mm
加热用激光	半导体激光波长：808nm
检测用激光	半导体激光波长：658nm
电源	AC 100V~1.5kVA
标准配件	样品支架、基准样品
*选项	光学平台、空调机、空调用booth、spatter装置
本体	外形尺寸：730(W) x 620(D) x 560(H)mm 重量：80.0Kg
电源箱	外形尺寸：620(W) x 480(D) x 310(H)mm 重量：26.4Kg

品牌日本BETHEL

型号TM3B

类型其他

显示方式其他

控制方式其他

测量对象微小领域,纳米薄膜,Sic,AIN等的测量,

工作电压220V

使用环境温度24,,1,

加工定制是

重量80.0Kg

产地日本

颜色黑色其他

外形尺寸其他

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主营业务

点胶机设备，点胶机厂家，自动点胶机

深圳市阿莱思斯科技有限公司成立于2014年，让设备和材料相结合，成为了国内首家点胶方案服务商。公司主要集中在半导体领域，在高科技的LED、MEMS、电声等行业具有领先的技术优势。拥有属于自己的研发团队，主要产品为全自动点胶机和胶水材料及周边相关设备等