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常用的干法等离子体反应器类型包括圆筒式等离子体反应器、平板式反应器、日本HD离子设备谐波CSF-50-160-2UH顺流刻蚀系统、三级平面反应器、离子铣、反应离子刻蚀器、高密度等离子体刻蚀机等。
图2.19所示为由平板反应器构成的平板等离子刻蚀机系统日本HD离子设备谐波CSF-50-160-2UH。反应器有两个大小和位置对称的平行金属板，硅片背面朝下放置于接地的阴极上面，RF信号加在反应器的上电极。由于等离子体电势高于地电势，因此这是一种带能离子进行轰击的等离子体刻蚀模式。一个刻蚀系统的能力及控制方法对成功加工硅片非常关键。
早期湿法腐蚀主要用于硅片刻蚀，现在湿法腐蚀的功能大部分被干法刻蚀代替。目前湿法腐蚀主要用于漂去氧化物、去除残留物、表层剥离，以及较大特征尺寸的图形腐蚀。湿法腐蚀设备较为简单，日本HD离子设备谐波CSF-50-160-2UH通常使用一个液体槽，采用浸泡或喷射的方法批量处理硅片。
湿法腐蚀设备的主要控制参数包括溶液浓度、浸泡时间、腐蚀槽的温度、溶液槽的搅动、处理硅片的批次等。
品牌HarmonicDrive
型号CSF-50-160-2UH,
类型谐波减速器
载荷状态强冲击载荷
传动比级数无级
轴的相对位置立式加速器
传动布置形式摆线式
加工定制是
样品或现货现货
齿面硬度硬齿面
布局形式三环式
用途减速机
输入转速1450rpm
额定功率360kw
输出转速范围50rpm
许用扭矩691N.m
使用范围矿产
减速比50
产地日本
上海浜田实业有限公司
- 公司类型私营有限责任公司
- 经营模式代理商-私营有限责任公司
- 联系人张工
- 联系手机13162861726
- 联系固话1316-2861726
- 公司地址上海市嘉定区爱特路877号歆翱国际商务园D幢510室
主营业务
上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
上海浜田实业有限公司专业致力于传动控制行业。面向工业机器人、半导体、机床、医疗器械、船舶、点胶、印刷、精密电子设备等行业中的运动控制技术。
上海浜田实业有限公司为日本哈默纳科（HarmonicDrive简称HD）中国地区一级代理商，日本HDSI公司是整体运动控制的领军企业，其生产的HarmonicDrive谐波减速机，具有轻量、小型、传动效率高、减速范围广、精度高等特点，被广泛应用于各种传动系统中。
专业的技术，完善的售后，让您的选择无后顾之忧，欢迎您的来电洽谈！
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