Wafer Size: 

200mm

Cassette Pick-up bbbbbbbb: 

909mm (35.8 inches)

Cassette Positioning: 

To within ±0.005 inches (vertical)

SMIF-Pod Load Height:

900mm (35.5 inches) Nominal

Maximum Reach of Load Arm: (Measured from front face of LPT to H-bar of SMIF-Pod)

307mm (12.10 inches) Reversed Cassette Orientation

Height: 

1578mm (62.13 inches)

bbbbb: 

457mm (18.00 inches)

Depth: 

478mm (18.81 inches)

Weight: (Without SMIF-Pod, cassette, wafers)

170 pounds(77.27kg)

Speed of travel (Minienvironment): 

57.2mm (2.25 inches) per second

Mounting: 

Tool mount. May make use of an interface frame calibrated to lock the LPT into a repeatable b onto the Process Tool.

Power: 

3.5 Amp (100-120vac) 2 Amp (230vac)

Laser NOTE:LPT is a Class I Laser product when used with a SMIF-Pod

Diode Laser; Wavelength = 670 nm Laser Power = <1mW (Class II)

Communications: 

Serial RS-232C (SECS I / SECS II), RS-485 (optional), Bi-directional Parallel LAN