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雅马拓YAMATO等离子清洗机等离子表面处理仪高压干式清洗机

来自广州金程科学仪器有限公司

¥10.00

发布时间 2023-11-17 16:54:00 关注次数 283

广州金程科学仪器有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS，13.56MHz高频输出的等离子清洗机，搭载RIE·DP 双模式。硅晶圆的灰化及蚀刻、基板表面污垢处理、IC/LED封装、BGA/CSP基板处理、半导体相关部品的电子材料的干式清洗、自然氧化膜·有机物去除、界面活性处理、表面污染物去除。

等离子清洗机特点：

硅晶圆的灰化及蚀刻。

基板表面污垢处理。

IC/LED封装、BGA/CSP基板处理。

半导体相关部品的电子材料的干式清洗。

自然氧化膜·有机物去除。

界面活性处理。

表面污染物去除。

等离子清洗机技术参数：

型号	V1000	V1000X	V1000XS
等离子模式	DP/RIE
高频电源	13.56MHz
输出功率	Max1000W	Max1000&1500W
有效电极尺寸	W280xD280mm	W300xD300mm	W400xD375mm
电极	平行平板	2段电极（独立）	平板（多目的）
反应气体	聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）	约1000L/min	约1500L/min	1000&1500L/min
安全装置	门检测开关、连锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

雅马拓YAMATO等离子清洗机V1000/V1000X/V1000XS信息由广州金程科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于等离子清洗机的信息，欢迎来电咨询。

品牌雅马拓YAMATO

型号V1000/V1000X/V1000XS

类型等离子清洗机

用途工业用

加工定制否

清洗方式高压气流

动力13.56MHz

电源13.56MHz

功率Max1000,1500W

外形尺寸详见参数

原理其他

工作频率等离子模式

工作电压13.56MHz

规格DP/RIE

输出功率Max1000,1500W

外形尺寸详见参数

重量100kg

产地重庆

广州金程科学仪器有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式代理商-私营有限责任公司
联系人谭真东
联系手机13802441876
联系固话020-87031216
公司地址广州市天河区广汕二路13号-327-1房

主营业务

高压反应釜、玻璃反应釜、连续流微反应器、旋转蒸发仪

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