精密电子芯片制造高低温一体机

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精密电子芯片制造高低温一体机

来自迈浦特机械（四川）有限公司

¥99999.00

发布时间 2025-09-29 11:31:35 关注次数 9

迈浦特机械（四川）有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

迈浦特机械高低温一体机专为半导体芯片制造中对温度极度敏感的工艺环节开发。其工作原理基于全封闭的超纯水循环系统与自适应PID控制算法的深度融合。系统通过钛合金管路和PFA内衬输送超纯水，避免金属离子污染；氮气密封系统确保水质纯度。制冷单元采用多级压缩机制冷，加热单元采用低干扰的管道式加热器。工作时，温度传感器实时监测反应釜或工艺腔体内的温度，并将数据反馈至中央控制器。控制器通过PID算法动态调节制冷剂流量和加热功率，例如在光刻过程中，需将光刻胶的温度维持在22℃±0.005℃的极窄范围内，设备能快速抵消因曝光热带来的微小波动，确保线宽均匀性。其集成振动抑制模块，有效隔离外部振动，为EUV光刻机等高端装备提供宁静的温场

。整机运行稳定，据客户反馈，芯片良品率可提升约10%

温度范围：-40℃ ~ +150℃
控温精度：±0.1℃
制冷功率：5.5kW
循环系统：钛合金主管路，氮气密封

品牌迈浦特MAIPT

型号MPTD

产品别名高低温一体机

产品用途控温

适用原料硅油,水,乙二醇等

电动机功率7.5~90kw

规格其他

重量170~5000kg

是否进口是

加工定制是

产地四川其他

迈浦特机械（四川）有限公司

公司类型私营股份有限公司
经营模式生产加工-私营股份有限公司
联系人陈宇强
联系手机18181998470
联系固话86-18181998470
公司地址天府大道北段1700号4栋1单元14层1417号

主营业务

高低温一体机模温机冷水机组螺杆冷水机冷热一体机

迈浦特机械，一家在温控设备领域深耕细作、锐意进取的企业，以其专业技术、卓越品质和全方位服务，成为工业温控技术的高端供应商与行业翘楚。公司一直致力于TCU温控系统，新能源温控测试系统、高低温一体机，模具温度控制机，冷水机，冷热一体机等温度控制机的研发、生产、销售、服务和技术咨询，提供全方位工业温度控制技术及解决方案的高端供应商，迈浦特信助于多年成功经验，以专业技术，在压铸，食品，化工，医疗，印刷，包装，复合材料，电池包、测试机，橡胶，压延等科研行业提供所需的各种温控设备和技服务，为客户们提供各种应用工艺过程中加热或冷却，恒温的技术服务，不仅仅是提供设备，我们提供更多的是解决方案以及对使用者的合理建议，注重客户的使用感受，对设备品质孜孜不的追求，得到业界和使用客户一致认可，是替代进口设备的可靠选择