Pfeiffer（普发）真空泵在半导体与集成电路（IC）制造中的详细应用

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发布时间 2025-04-25 14:16:22 关注次数 109

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Pfeiffer（普发）真空泵在半导体与集成电路（IC）制造中的详细应用

Pfeiffer 作为全球高端真空技术的领导者，其产品在半导体制造中扮演着关键角色，覆盖从晶圆制备到芯片封装的多个核心环节。

1. 半导体制造核心工艺与Pfeiffer真空泵的应用
（1）晶圆加工前道工艺**
- 光刻（Lithography）
- 需求：极洁净的真空环境（≤10⁻⁶ mbar）以消除微粒和气体干扰。
- Pfeiffer方案：
- 涡轮分子泵（HiPace系列）：为光刻机镜头和掩模版仓提供超高真空（UHV），确保曝光精度。
- 干式前级泵（A3系列）：避免油污染，配合EUV光刻机的极紫外光源系统。

- 薄膜沉积（CVD/PVD）
- 需求：均匀镀膜（如SiO₂、SiNₓ）、低颗粒残留。
- Pfeiffer方案：
- 罗茨泵（OktaLine系列）：快速抽真空至10⁻² mbar，提升沉积速率。
- 低温泵（CoolVac）：用于ALD（原子层沉积），实现原子级薄膜控制。

- 刻蚀（Etching）
- 需求：精确控制等离子体环境（如反应离子刻蚀RIE）。
- Pfeiffer方案：
- 复合泵组（分子泵+螺杆泵）：维持刻蚀腔体的稳定低压（10⁻³~10⁻⁴ mbar），确保刻蚀均匀性。

（2）离子注入与掺杂
- 需求：高真空（10⁻⁶ mbar）下精准控制离子束。
- Pfeiffer方案：
- 离子泵（Ion Pump）：为离子注入机提供无振动真空，避免剂量偏差。

（3）芯片封装与测试
- 需求**：防止氧化、降低热阻（如TSV硅通孔工艺）。
- Pfeiffer方案：
- 干式螺杆泵用于真空贴片机，确保芯片与基板无气泡粘合。

2. Pfeiffer产品的技术优势与半导体行业适配性

技术挑战	Pfeiffer解决方案	行业价值
洁净度要求	全干式无油设计（避免碳氢污染）	提升良率，满足28nm以下制程需求
超高真空稳定性	涡轮分子泵+低温泵组合（极限真空≤10⁻⁹ mbar）	支持EUV光刻等尖端工艺
耐腐蚀性	特殊涂层泵体（如Al₂O₃）抗等离子体侵蚀	延长刻蚀设备寿命
能效比	变频驱动（EnergySmart技术）降低功耗30%	符合半导体厂绿色制造要求

3. 典型应用案例
- EUV光刻机（ASML）：
Pfeiffer的HiPace 3000涡轮分子泵用于维持光刻机光学系统的UHV环境，确保13.5nm极紫外光的传输效率。
- 3D NAND存储芯片生产：
A3系列干泵在多层堆叠工艺中快速抽除刻蚀副产物气体，防止结构坍塌。
- 碳化硅（SiC）功率器件：
CoolVac低温泵**在高温外延（Epitaxy）中控制背景杂质浓度。

4. 与竞品的差异化对比
- vs. 爱德华（Edwards）：
Pfeiffer在超高真空响应速度和耐等离子体腐蚀方面更优，适合高频工艺（如刻蚀）。
- vs. 国内品牌（如北仪优成）：
Pfeiffer专注于**7nm以下先进制程**，而国产泵更多用于成熟制程（如>28nm）。

Pfeiffer真空泵在半导体制造中是不可或缺的“工艺守护者”，其超高真空技术、洁净性和可靠性直接关联到芯片的性能、良率和制程突破。随着半导体技术向3nm/2nm演进，Pfeiffer的分子泵和低温泵将成为EUV和GAA晶体管工艺的核心支撑。

如需具体型号参数或某工艺环节的深入分析，可进一步探讨！

品牌普发

型号duo2.5

输送介质油泵

驱动方式电动泵

介质温度类型低温泵

材质铸铁

最大出口压力类型高压泵(32MPa≤Pd＜100MPa)

叶片式泵叶轮级数单级泵

叶片式泵吸入方式单吸泵

叶片式泵叶轮形式封闭式叶轮

叶片式泵壳体型式节段式

叶片式泵泵轴位置卧式泵

结构类型离心式

颜色黑色白色

产地广东东莞

东莞市飞粤真空科技有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式经销商-私营有限责任公司
联系人刘瑜洁
联系手机15079723172
联系固话0769-81821682
公司地址东莞市寮步镇向西村振南四巷9号1楼

主营业务

公司主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养

东莞市飞粤真空科技有限公司位于广东省东莞市寮步镇，公司成立于2012年，是一家专业生产、销售真空设备及进口真空泵维修、提供真空系统解决方案的高新科技企业，为广大用户提供可靠的、安全易用的真空设备及优质专业的服务。公司拥有一支集研发、生产、销售、售后为一体的强大队伍，优质的真空泵产品、专业的真空技术、在真空系统建造方面有丰富的经验以及快速响应的服务，为客户提供理想、完善的真空解决方案并赢得了广泛认可。　公司主要经营进口真空泵、进口真空泵配件、真空泵维修保养，真空泵机组及中央真空系统设计安装；主营品牌:德国BUSCH普旭，Rietschle里其乐/伟力，Leybold莱宝，Becker贝克，英国BOC Edwards爱德华，日本ULVAC爱发科，Orion好利旺，TAIKO大晃，法国ALCATEL阿尔卡特，德国Pfeiffer普发,韩国KODIVAC大亚、DOVAC斗一等国际知名品牌；飞粤真空定制的真空系统广泛用于电子半导体、太阳能光伏、生物制药、食品业、印刷业、汽车、自动化工程等行业。专业技术团队可为不同需求客户定制中央真空系统（厂务真空系统），设计、安装、调试一条龙服务。在高速成长的过程中，飞粤真空本着专业务实的实干精神，以不断优化客户体验为己任，精益求精为客户提供一流的真空设备产品服务，公司愿与新老客户合作伙伴携手共进，同谋发展，共创辉煌。