2.2L 德国原装进口 FEMTO 高校专用精密型等离子清洗机清洗/活化/涂层/蚀刻

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来自旭阿科技（上海）有限公司

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发布时间 2020-05-11 15:54:10 关注次数 906

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图文介绍产品参数供应商信息

等离子清洗机FEMTO

等离子工艺除清洗与活化外，还具有蚀刻与涂层

的功能。可以应用于多种领域。

l 硅蚀刻

l PTFE蚀刻

l 去除光刻胶

l 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性

l 疏水层的沉积

l 亲水层的沉积

l 保护或绝缘层的沉积

l 防扩散层

主要技术参数：

1. 全自动控制

2. *根据工艺要求不同，可设定功率、压强、气体流量，时间等参数

3. 单路工作气体，气体流量通MFC流量计控制

4. 反应舱为不锈钢，Ø100 mm*L278mm，容积约为2.2L

5. 射频频率13.56MHz,功率0~100W

6. 电极材质为铝/不锈钢

7. 运行模式为手动

8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour，配有强制进气阀

9. *配有压力传感器，可根据工艺要求设定压力值

10. 外尺寸：W310*D420*H330mm

11. 电源电压：单相AC230V 16A

品牌Diener

型号FEMTO

类型等离子清洗机

用途其他

加工定制是

清洗方式等离子干法清洗

动力发生器

电源220V

功率100W,300W

外形尺寸W310,D420,H330mm

原理等离子

工作频率13.56MHz,40KHz,100khz

工作电压220V

规格2.2L

输出功率300W

外形尺寸W310,D420,H330mm

重量45KG

产地德国

旭阿科技（上海）有限公司

公司类型私营独资企业
经营模式贸易型-私营独资企业
联系人肖
联系手机15021401934
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公司地址上海市松江区广富林路540号1002室

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实验室仪器设备，半导体封测设备

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