哈默纳科涂布机谐波齿轮SHF-40-80-2UH

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来自上海浜田实业有限公司

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发布时间 2024-04-16 09:48:38 关注次数 2337

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是真正涂布粘着在晶圆上之数十甚至数百倍，极其可惜；哈默纳科涂布机谐波齿轮SHF-40-80-2UH因为甩到晶圆外的光阻中有机溶剂迅速挥发逸散，成份大变，不能回收再使用。

5、厚光阻

德国Karl-Suss公司开发了一种新型的光阻涂布机，哈默纳科涂布机谐波齿轮SHF-40-80-2UH称为GYRSET? ，其卖点在于强调可减少一半的光阻用量，且得出更均厚的光阻分布。其原理极为单纯：只是在真空转台上加装了跟着同步旋转的盖子。如此一来，等于强迫晶圆与盖子之间的空气跟着旋转，那么光阻上便无高转速差哈默纳科涂布机谐波齿轮SHF-40-80-2UH的粘性旋转拖曳作用。故光阻在被涂布时，其与周遭流体之相对运动并不明显

品牌HarmonicDrive

型号SHF-40-80-2UH

类型谐波减速器

载荷状态强冲击载荷

传动比级数单级

轴的相对位置卧式减速器

传动布置形式摆线式

加工定制否

样品或现货现货

齿面硬度软齿面

布局形式三环式

用途减速机

输入转速3000rpm

额定功率360kw

输出转速范围50rpm

许用扭矩691N.m

使用范围化工

减速比98

产地日本

上海浜田实业有限公司

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经营模式代理商-私营有限责任公司
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主营业务

上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋

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