日本光驰OTFC-1550MM光学镀膜机含安装调试出售介绍
OTFC-1550光学镀膜机配置
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架:Ф1400 |
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A |
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源:2套日本电子24P双枪 |
离子源:23 寸光驰RF离子源 |
排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵 |
性能 |
达到压力:7. 0X10-5Pa以下 |
排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) |
基板温度: 350C |
工作条件 |
|
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量:180升/分以上 |
空气压力:0.5MPa以上 |
重量:约11000kg |
1、光学真空镀膜设备主要部件制造所用原材料应符合相应材料标准的规定,并具有质量证书。
二、设备零件的机械加工质量和焊接质量应符合制造商技术文件的规定。
3、设备的装配质量应符合制造商技术文件的规定。装配时,应有效清洁和干燥工作中真空部件的表面。装配后,运动部件应灵活稳定。
4、设备涂层沉积源、离子轰击、工件偏压、工件加热、膜厚监测等设备应逐项调试,性能应符合设计要求,运行可靠。设备应在工件加热过程中正常运行。
5、设备配备的自制或采购的泵、阀、表、计等机电部件均符合相应产品标准的规定,并应具有质量证书或经厂家检验部门检验合格后方可使用。
六、配套设备的电气设备的制造质量应符合制造商技术文化的规定,并保证设备运行的安全可靠。装置中线路的布置应整齐清晰,便于维护。装置中各电路的绝缘电阻值为500V对于501-10000,以下不得低于2V,不得低于2.5;对于1001-3000V,不得低于3.5,对于3001-10000V,不得低于6
七、设备漆面应光滑、美观、牢固,无剥落脱皮现象。
日本光驰OTFC-1550MM光学镀膜机含安装调试出售照片
- 公司类型私营有限责任公司
- 经营模式生产加工-私营有限责任公司
- 联系人王艳萍
- 联系手机13580817490
- 联系固话-13580817490
- 公司地址
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