菘启工业有限公司——是温度测量控制产品及高温材料供应商，产品应用于航太、半导体、太阳能光伏、LED、石油化工也、汽车工业、食品业等高科技产业及传统产业。公司依托台湾总公司的强大研发、校验能力；东莞的生产基地以及昆山的技术服务与支持，现已形成全方面的产品设计、开发、制造、校验的系统方案提供商。

公司始终坚持为客户创造更多价值；提供稳定可靠的产品；细致专业的服务，让THERMOWAY品牌获得业界更多的认同及尊重

THERMOWAY RTD WAFER 專為需要高精度溫度測量的製程所 設計，例如半導體光阻劑處理系統、晶圓探測器和許多其他類型 的半導體製造設備。 透過研發團隊精心整合設計帶來高量測精度和結果穩定性， WAFER 上的 RTD 傳感器，黏合及封裝材料，四線式電阻測量 方式是關鍵的集成元件。 

Features l 工作溫度範圍： -80°C to 300°C l 溫度點位： 1 to 160 points l 提供校正服務 l 提供應用軟體及分析系統 

Applications l 測量和記錄製程週期的晶圓溫度：裝載、升溫、穩定狀態、冷卻和卸載。 l 提升對溫度的控制及㇐致性。 l 管理具有嚴格熱性能規格的生產流程或為 SPC 系統提供數據。 l 在硬體或製程研發期間優化晶圓工藝。 l 在最終鑑定、晶圓廠啟動以及修復或升級系統的重新鑑定過程中對晶圓廠設備進行測試和基準測試。 

Specifications

Temperature Range: -80°C to 300°C 

Wafer Size: 6”, 8”, 12” 

Element Type: Thin Film Platinum 

Element Resistance: 100Ω, 1000 Ω nominal at 0°C

 Resistance Alpha Value: 0.00385

 Max. Measurement Current: 200 µA

 Accuracy with Calibration Correction: ±0.1°C absolute accuracy, ±0.03°C sensor to sensor accuracy Also available in customized high accuracy ±0.05℃ @ 0℃

Resolution: 0.01°C

Type of Connection: 3-Wire or 4-wire resistance measurement with common current source return 

Lead Materials: Polyimide coated copper

Cable Construction: Polyimide film flat cable section transitioning to a silicon rubber round flex cable. 

Connection: D-type, high density, sub-miniature with 68 pins.