流量范围

  0.5SCCM-5000SLPM

  可自行修改流量单位如kg/h、g/min等

  标定气体

  内置130条气体可选择

  含腐蚀气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)

  精度(调零后)

  ±(0.8%Rd+0.2%FS)

  ***(调零后)

  ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM

  重复性

  ±0.2%FS

  漂移(零点/满量程)

  0.02% F.S/oC/Atm

  工作范围

  0.5-***

  响应时间

  10毫秒(调整)

  启动预热时间

  1秒内

  标准工况

  25oC & 14.696 psia，可自定义修改

  工作温度范围

  -10~-50℃(另有高温订制品)

  工作湿度范围

  0-***RH(非冷凝)

  工作压力

  10Bar

  压差

  5Bar

  安装方向

  任意

  阀门状态

  常闭

  材质

  SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez)

  显示屏

  背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度

  数字信号

  标准RS232

  选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

  以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

  模拟信号

  标准0-5V/1-5V/0-10V

  选配:4-20mA

  ***路模拟信号

  标准0-5V/1-5V/0-10V

  选配:4-20mA

  电气接口

  标准圆形8芯

  选配:圆形6芯、DB9、DB15

  供电电压

  +24VDC

  消耗电流

  100mA