SPS旋涂仪POLOS SPIN150x 2024新上市

POLOS 旋涂机

我们的POLOS®单晶圆旋涂布机有NPP或PTFE两种材质。这些高质量的旋涂机专为MEMS、半导体、

生命科学、光伏、微流控等领域的研发和小批量生产而设计。适用于所有典型的旋转工艺：

清洁、漂洗/干燥、涂层、显影、玻璃滑动和蚀刻。

POLOS® SPIN150x 是一种多功能、高质量的基底旋涂机，由 NPP 制成。它专为研发和小批量生产而设计。

台式型号可手动或自动（可选）分配化学品。

腔体规格

外壳材质 天然聚丙烯（NPP）

最大底物直径 最大可用 6” (150 mm) 晶圆

最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物

适用范围

• 涂层

• 清洗冲洗/烘干

• 显影

• 刻蚀

• PDMI

• 其他程序

硬件规格：

•液体过滤疏水阀

• 外壳和排水管设计，可切换桌面和Indeck模式用于注射器或喷嘴的中心注射支架

• 盖锁和真空传感器确保用户安全

• 大尺寸触摸显示屏（可拆卸）

• USB 端口，用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件更新

驱动装置规格：

• 间接无刷驱动装置

• 转速高达 12.000 RPM（取决于底物/卡盘）

• 高加速度、高精度

• 加速/减速 1-30.000 RPM

• 顺时针、逆时针旋转和漩涡选项

SPS旋涂仪POLOS SPIN150x 2024新上市