商家供应
图文介绍
产品参数
供应商信息
1) SPM: H2 SO4 /H2O2 ( 120 ~ 150) ℃ SPM 具有 很高的氧化能力,可将金属氧化后溶于清洗液中,并 能把有机物氧化生成 CO2 和 H2O。用 SPM 清洗硅 片可去除硅片表面的重有机沾污和部分金属,但是 当有机物沾污特别严重时会使有机物碳化而难以去 除。
2) HF( DHF) : HF( DHF) ( 20 ~ 25) ℃ DHF 可 以去除硅片表面的自然氧化膜,因此,附着在自然氧 化膜上的金属将被溶解到清洗液中,同时 DHF 抑制 了氧化膜的形成。因此可以很容易地去除硅片表面 的 Al,Fe,Zn,Ni 等金属,DHF 也可以去除附着在自 然氧化膜上的金属氢氧化物。用 DHF 清洗时,在自 然氧化膜被腐蚀掉时,硅片表面的硅几乎不被腐蚀。
( 3 ) APM ( SC - 1 ) : NH4OH /H2O2 /H2O ( 30 ~ 80) ℃由于 H2O2 的作用,硅片表面有一层自然氧化 膜( SiO2 ) ,呈亲水性,硅片表面和粒子之间可被清洗 液浸透。由于硅片表面的自然氧化层与硅片表面的 Si 被 NH4OH 腐蚀,因此附着在硅片表面的颗粒便 落入 清 洗 液 中,从而达到去除粒子的目的。在 NH4OH 腐蚀硅片表面的同时,H2O2 又在氧化硅片 表面形成新的氧化膜。
( 4) HPM( SC - 2) : HCl /H2O2 /H2O( 65 ~ 85) ℃ 用于去除硅片表面的钠、铁、镁等金属沾污。在室温 下 HPM 就能除去 Fe 和 Zn。
5) Ultrapure water( UPW) 通常叫做 DI 水,UPW 采用臭氧化的水稀释化学品以及化学清洗后晶片的 冲洗液[3]。
品牌其他
型号0001
名称BOE清洗机
加工定制是
外形尺寸其他
产地其他
江苏英思特半导体科技有限公司
- 公司类型
- 经营模式贸易型-
- 联系人张青青
- 联系手机15312623692
- 联系固话-
- 公司地址
主营业务
多晶制绒硅片清洗机,湿法刻蚀硅片清洗机,全自动单晶制绒清洗机
江苏英思特半导体科技有限公司是一家集研发、设计、制造和销售为一体的专业太阳能、LED和半导体清洗设备供应商。以优质的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。目前,公司主要产品有:多晶制绒硅片清洗机,湿法刻蚀硅片清洗机,全自动单晶制绒清洗机,全自动去磷硅玻璃清洗机,全自动硅料/硅片清洗设备,硅片槽式清洗设备,石墨舟/石英管清洗机等全系列清洗设备。公司会始终秉承“以人为本,精益求精,品质稳定,客户满意”的发展理念,与客户携手共进,共创未来!
同类产品
-
集颂太阳能无线监控一体机-海康小球机 ¥1688.88
-
集颂太阳能无线监控一体机 ¥3888.00
-
易珈源太阳能抽水系统5.5KW ¥0.01
-
太阳能水泵光伏逆变器 ¥4000.00
-
太阳能监控一体机,民用4G球机 ¥1780.00
-
太阳能智能语音监控一体机400w全彩枪机 ¥3380.00
-
太阳能光伏提水 ¥15000.00
-
Baccini 迈为 科隆威 玻璃台面 台面玻璃 台面模组 ¥10.00
-
科隆威台面玻璃 台面框 双轨台面灯 LED台面灯 迈为台面玻璃 台面模组 ¥100.00
-
伯努利光伏吸盘 非接触吸盘 吸盘护罩 真空吸盘 迈为吸盘 ¥10.00
-
上海玻璃金属热管太阳能集热器厂家 ¥3000.00
-
四平延吉太阳能发电吉林省华蓝新能源科技有限公司太阳能发电设备 ¥289.00
-
上海太阳能工程安装报价 ¥10000.00
-
CDS供酸系统 ¥300000.00
-
上海大型中央热水系统厂家直销 ¥8000.00