产品特点
l Ÿ 三轴直驱结构设计 Ÿ Z轴直驱平升结构
Ÿ 抗蠕动交叉滚柱导轨 Ÿ 高精度指标
l Ÿ 微动步距≤20nm Ÿ 根据需求可定制
应用领域
RBN-XY-SG系列是一款高精度三轴精密运动台,三轴叠层紧凑式结构,亚微米级精度用于飞秒激光加工、光学制造及检测、基因测序和科研等领域。
结构特点
三轴直驱结构,电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点,防蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱为线线接触,运动平稳,滚柱间交叉排列,多方向受力稳定。XY轴叠层结构,行程50~200mm可选,Z轴直驱平升结构,直接移动负载升降,行程20~35mm,可选配抱闸功能,防止断电掉落。
精度性能
非接触式光栅闭环反馈,紧凑结构,获得XY轴双向重复定位精度±75nm,直线度和平面度±0.5μm;Z轴重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,是高精度场所的理想选择。
微动步距
对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤20nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。
定制化
根据应用可配置大理石基座、隔振器等整套运动控制方案。
规格指标
型号 |
单位 |
RBN-50-50-20SG |
RBN-100-100-35SG |
RBN-150-150-35SG |
RBN-200-200-35SG |
|||||
行程 |
mm |
50 x 50 |
20 |
100 x 100 |
35 |
150 x 150 |
35 |
200 x 200 |
35 |
|
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
±0.15 |
标准值 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
±0.3 |
±1 |
||
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.025 |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
±0.075 |
标准值 |
±0.05 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.1 |
±0.5 |
±0.15 |
±0.5 |
||
直线度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
±0.5 |
标准值 |
±1 |
±3 |
±1 |
±4 |
±1 |
±4 |
±1.5 |
±4 |
||
平面度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
±0.5 |
— |
±0.75 |
— |
标准值 |
±1 |
— |
±1 |
— |
±1 |
— |
±1.5 |
— |
||
Pitch Roll (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±2.5 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
±3 |
±2.5 |
标准值 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±5 |
±7 |
±5 |
||
Yaw (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±1 |
±2 |
±1 |
±2 |
±1 |
±2 |
±2 |
±2 |
标准值 |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
±2.5 |
±5 |
±5 |
±5 |
||
电子分辨率 (3) |
nm |
0.3 或 5(选配) |
||||||||
最大速度 (空载) (4) |
mm/s |
100 |
10 |
200 |
10 |
200 |
10 |
200 |
10 |
|
最大负载 |
kg |
10 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的精度指标,最大速度和加速度取决于负载大小。
订购信息
型号 |
RBN |
-50-50-20 |
-PLUS |
-N |
-1 |
-0 |
-C3 |
-3 |
-N |
-N |
描述 |
交叉滚柱运动台 |
X轴行程50mm;Y轴行程50mm;Z轴行程20mm |
PLUS高精度版 |
默认 |
增量式光栅1Vpp反馈 |
零点在行程中心位置 |
坦克拖链 |
线缆长度3米 |
常压环境 |
无大理石基座 |
名称 |
型号 |
描述 |
多轴线轨运动台 |
RBN |
交叉滚柱运动台 |
行程 |
-50-50-20 -100-100-35 -150-150-35 -200-200-35 |
X轴行程50mm;Y轴行程50mm;Z轴行程20mm X轴行程100mm;Y轴行程100mm;Z轴行程35mm X轴行程150mm;Y轴行程150mm;Z轴行程35mm X轴行程200mm;Y轴行程200mm;Z轴行程35mm |
精度等级 |
-N -PLUS |
标准值 PLUS高精度版 |
电子分辨率 |
-N -0.3 -5 |
默认 电子分辨率0.3nm 电子分辨率5nm |
反馈方式 |
-1 -T -ABS |
增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 绝对式光栅反馈 |
零点位置 |
-0 |
零点在行程中心位置 |
线缆管理 |
-DB -C2 -C3 -C4 |
DB接头,无线缆管理 无尘拖链 坦克拖链 真空线缆 |
线缆长度 |
-3 -5 -DZ |
长度3米(标配) 长度5米 定制 |
气压环境 |
-N -VC |
常压环境(标配) 真空环境 |
大理石基座 (1) |
-Y -N |
有大理石基座 无大理石基座(标配) |
注:1. 选真空环境下(-VC)使用,禁止选大理石基座
- 公司类型
- 经营模式-
- 联系人王欣悦
- 联系手机18145668702
- 联系固话-18145668702
- 公司地址
-
RBN-XY-SG系列三轴精密运动台 ¥1.00
-
佛山回收二手机械/佛山二手机械回收/佛山旧机械回收/佛山回收旧机械 ¥8080.00
-
大尺寸面光源uvled固化灯365/395大功率实验室三防漆uv油墨固化灯 ¥1100.00
-
不锈钢员工更衣室更衣柜 ¥1800.00
-
码垛机器人抓手 水泥袋子码垛夹爪 搬运码垛堆垛手抓夹具 ¥9800.00
-
非标设备定制 ¥10000.00
-
不锈钢水靴架烘干鞋架双面水鞋架 ¥2800.00
-
不锈钢架车肉类缓化架车解冻架车 ¥3600.00
-
食品厂物料周转车不锈钢平板车手推车 ¥1200.00
-
食品厂不锈钢地沟篦子格栅承重盖板 ¥300.00
-
佛山洁净区厂房施设计改造 ¥1000.00
-
上层水靴下边便鞋的两用不锈钢水靴架 ¥1350.00
-
全自动码垛机操作简单应用率高 ¥120000.00
-
实验室移动式除尘器 ¥4300.00
-
食品车间不锈钢消毒洗靴池水靴池 ¥1200.00