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RBN-XY-SG系列三轴精密运动台
来自北京瑞邦精控科技有限公司
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发布时间  2024-05-21 09:50:18 关注次数  40
北京瑞邦精控科技有限公司
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图文介绍 产品参数 供应商信息

产品特点

 

Ÿ  三轴直驱结构设计                                                  Ÿ  Z轴直驱平升结构

Ÿ  抗蠕动交叉滚柱导轨                                              Ÿ  高精度指标

Ÿ 微动步距20nm                                                      Ÿ 根据需求可定制

 


应用领域

RBN-XY-SG系列是一款高精度三轴精密运动台,三轴叠层紧凑式结构,亚微米级精度用于飞秒激光加工、光学制造及检测、基因测序和科研等领域

 

结构特点

三轴直驱结构,电机具有零齿槽、高动态性能及电流噪声小等特点,防蠕动交叉滚柱直线导轨导向,滚柱为线线接触,运动平稳,滚柱间交叉排列,多方向受力稳定。XY轴叠层结构,行程50~200mm可选,Z轴直驱平升结构,直接移动负载升降,行程20~35mm,可选配抱闸功能,防止断电掉落。

 

 

 

精度性能

非接触式光栅闭环反馈,紧凑结构,获得XY轴双向重复定位精度±75nm,直线度和平面度±0.5μmZ轴重复定位精度±0.075μm,直线度±0.5μm,是高精度场所的理想选择。

 

微动步距

对有微动步距(最小位移量)要求的应用领域,如最小步距运动、对准应用等,微动步距≤20nm,对现场使用环境的要求,更多细节可联系瑞邦精控。

 

定制化

根据应用可配置大理石基座、隔振器等整套运动控制方案。

 


规格指标

型号

单位

RBN-50-50-20SG

RBN-100-100-35SG

RBN-150-150-35SG

RBN-200-200-35SG

行程

mm

50 x 50

20

100 x 100

35

150 x 150

35

200 x 200

35

补偿后定位精度 

Plus (1)

μm

±0.1

±0.1

±0.1

±0.15

±0.1

±0.15

±0.15

±0.15

标准值

±0.3

±1

±0.3

±1

±0.3

±1

±0.3

±1

双向重复定位精度

Plus (1)

μm

±0.025

±0.05

±0.05

±0.075

±0.05

±0.075

±0.075

±0.075

标准值

±0.05

±0.5

±0.1

±0.5

±0.1

±0.5

±0.15

±0.5

直线度 (2)

Plus (1)

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

±0.5

标准值

±1

±3

±1

±4

±1

±4

±1.5

±4

平面度 (2)

Plus (1)

μm

±0.5

±0.5

±0.5

±0.75

标准值

±1

±1

±1

±1.5

Pitch Roll (2)

Plus (1)

arc sec

±2.5

±2.5

±3

±2.5

±3

±2.5

±3

±2.5

标准值

±5

±5

±5

±5

±5

±5

±7

±5

Yaw (2)

Plus (1)

arc sec

±1

±2

±1

±2

±1

±2

±2

±2

标准值

±2.5

±5

±2.5

±5

±2.5

±5

±5

±5

电子分辨率 (3) 

nm

0.3 5(选配)

最大速度 (空载) (4)

mm/s

100

10

200

10

200

10

200

10

最大负载

kg

10

注:

以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度10mm/sRenishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下的精度指标,最大速度和加速度取决于负载大小。


订购信息

型号

RBN

-50-50-20

-PLUS

-N

-1

-0

-C3

-3

-N

-N

描述

交叉滚柱运动台

X轴行程50mmY轴行程50mmZ轴行程20mm

PLUS高精度版

默认

增量式光栅1Vpp反馈

零点在行程中心位置

坦克拖链

线缆长度3

常压环境

无大理石基座

 

名称

型号

描述

多轴线轨运动

RBN

交叉滚柱运动台

行程

-50-50-20

-100-100-35

-150-150-35

-200-200-35

X轴行程50mmY轴行程50mmZ轴行程20mm

X轴行程100mmY轴行程100mmZ轴行程35mm

X轴行程150mmY轴行程150mmZ轴行程35mm

X轴行程200mmY轴行程200mmZ轴行程35mm

精度等级

-N

-PLUS

标准值

PLUS高精度版

电子分辨率

-N

-0.3

-5

默认

电子分辨率0.3nm

电子分辨率5nm

反馈方式

-1

-T

-ABS

增量式光栅1Vpp反馈

增量式光栅TTL反馈

绝对式光栅反馈

零点位置

-0

零点在行程中心位置

线缆管理

-DB

-C2

-C3

-C4

DB接头,无线缆管理

无尘拖链

坦克拖链

真空线缆

线缆长度

-3

-5

-DZ

长度3米(标配)

长度5

定制

气压环境

-N

-VC

常压环境(标配)

真空环境

大理石基座 (1)

-Y

-N

有大理石基座

无大理石基座(标配)

注:1. 选真空环境下-VC)使用禁止选大理石基座

品牌其他
型号RBN-XY-SG
自动化程度全自动
加工定制
类型工位设备
北京瑞邦精控科技有限公司
  • 公司类型
  • 经营模式-
  • 联系人王欣悦
  • 联系手机18145668702
  • 联系固话-18145668702
  • 公司地址
主营业务
高精度位移台,气浮转台
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