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产品参数
供应商信息
IPV，3PV，APC类型
·一步到位的精准动作。
·简单，构成组件少，拥有紧凑型节省空间的设计。
·标准规格拥有50万次动作的设计寿命，高耐久，无需检修的设计。
·阀体的密封件一律采用O型圈。为降低成本做出贡献。
·阀体的拆解只需松开1根螺栓即可。
APC控制盒
·搭载可以计算出腔室容积的LEARN功能。
·可实现高速的正确压力控制，位置控制。
·可同时连接2台压力传感器。
·排气系列门阀：真空泵－腔室之间的门阀，也有作为控制压力的阀门使用。
·搬运系列门阀：作为各作业（晶片或玻璃基板etc）的出入口，用于空气－腔室之间的隔断。
半导体・液晶屏制造装置
半导体・液晶屏制造装置
用真空门阀的应用案例介绍
用真空门阀的应用案例介绍
Exhaust System Gate Valve
（Penduroll Valve）
·和APCPenduroll阀配合可以实现电导系数到0的控制。
品牌日本VTEX
型号钟摆阀3PV
材质不锈钢
阀瓣开启高度全程
驱动方式气动
连接形式法兰
压力环境类型低压阀(PN<1.6Mpa)
压力环境高压
工作温度区间45℃
特殊功能可以调整电导
外形尺寸110*34*45
流动方向双向
介质温度90℃
适用介质空气
流动方向双向
类型(通道位置)直动式
加工定制否
公称通径160-550
适用范围真空设备,半导体行业
重量21KG
产地日本
昆山迪凯睿机械科技有限公司
- 公司类型股份合作企业
- 经营模式商业服务-股份合作企业
- 联系人唐先生
- 联系手机15995681454
- 联系固话0512-50329596
- 公司地址江苏省昆山市玉山镇城北中路1288号
主营业务
真空泵|日立电机|空压机|水泵|非标真空系统|三菱
昆山迪凯睿机械科技有限公司是一家集研发、生产、销售为一体的综合服务公司。 主要从事进口品牌真空 泵、空气压缩机、进口机械设备及零部件等.产品应用广泛,太阳能光伏业、包装业、吸塑成型业，印刷业、风电 行业、食品业、电子业、半导体工业、自动化科技、医院及实验室装置、玻璃制造业、物流技术、汽车工程、制 鞋业、木工机械业、废水处理、造纸工业、真空搬运及真空吸盘，真空包装机械等等行业的必选设备.我们以可 靠的质量，高性价比产品和优质的服务赢得了客户的心理和支持，力求与客户共赢发展！
