产品名称:EDMUND OPTICS阿秒多层反射镜#16-767
产品型号:#16-767
产品介绍
极紫外光(EUV)阿秒多层反射镜设计用于阿秒脉冲的转向、聚焦和整形。他们的多层膜中心位于65eV(19nm),带宽为6eV(1.8nm),为 S 偏振光提供38%的峰值反射率。这些反射镜支持持续时间为330阿秒的极紫外(EUV)脉冲。 UFI极紫外(EUV)阿秒反射镜是基于高次谐波(HHG)、自由电子激光器(FEL)或其他量子光学应用产生和整形阿秒脉冲的理想选择。可提供直径为25.4mm的平面反射镜和凹面反射镜;如果您的应用需要定制中心能量、带宽或其他规格的极紫外(EUV)多层反射镜,请与我们联系。
性能特点
l 设计用于65eV(19nm)下的 330 阿秒脉冲
l 具有38%峰值反射率的多层镀膜
l ≤1Å 表面粗糙度超抛光基底
l 另外提供专为 13.5nm 设计的极紫外(EUV)平面反射镜 和 极紫外(EUV)球面反射镜
技术参数
直径 (mm):25.40 ±0.13
基底: 熔融石英(Corning 7980)
表面质量:10-5 (基质)
涂层规格:Rs > 38% @ 65eV/19nm
涂层: 多层EUV (19nm)
入射角 (°):5
有效孔径 (%):80设计波长 DWL (nm):19
边缘: 精细研磨
表面粗糙度(埃):<1
中心能源(eV):65 ±2
带宽 (eV):6
支持的脉冲持续时间:330阿秒
边缘厚度 ET (mm):6.35 ±0.20
有效焦距 EFL (mm):500.00
半径 R1 (mm):1000.00
上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件,提供过程控制技术询问,工业自动化集成设计与改造,成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐,连航分别在德国和美国设立了公司和仓储,一举巩固了采购能力,扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势,进而提升了终端服务效率与水平。
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