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也就是说，即使晶圆大到6或8吋，但光罩大小还是小小的1~2吋见方哈默纳科光罩制备谐波CSF-17-80-2A-R ，一则光罩制备快速，二则小面积对准的问题也比较少；只是要曝满整片晶圆，要花上数十次「对准→曝光→移位」的重复动作。但即便如此，因每次「对准→曝光→移位」仅费时1秒左右，故一片晶圆的总曝光时间仍控制在1分钟以内哈默纳科光罩制备谐波CSF-17-80-2A-R，而保持了工厂的高投片率(highthrough-put；即单位时间内完成制作之硅芯片数。）
晶圆上微米厚度等级的光阻，是采用旋转离心（spin-coating）的方式涂布上去。光阻涂布机如图2-8所示。其典型程序包括：
(1)晶圆表面前处理(pre-baking)：即在150°C下烘烤一段时间。哈默纳科光罩制备谐波CSF-17-80-2A-R若表面无氧化层，要另外先上助粘剂(primer)
品牌HarmonicDrive
型号CSD-17-50-2A-R,
类型圆柱齿轮减速器
载荷状态强冲击载荷
传动比级数双级
轴的相对位置立式加速器
传动布置形式摆线式
加工定制是
样品或现货样品
齿面硬度软齿面
布局形式三环式
用途变速机
输入转速3000rpm
额定功率360kw
输出转速范围50rpm
许用扭矩691N.m
使用范围化工
减速比34
产地日本
上海浜田实业有限公司
- 公司类型私营有限责任公司
- 经营模式代理商-私营有限责任公司
- 联系人张工
- 联系手机13162861726
- 联系固话1316-2861726
- 公司地址上海市嘉定区爱特路877号歆翱国际商务园D幢510室
主营业务
上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
上海浜田实业有限公司专业致力于传动控制行业。面向工业机器人、半导体、机床、医疗器械、船舶、点胶、印刷、精密电子设备等行业中的运动控制技术。
上海浜田实业有限公司为日本哈默纳科（HarmonicDrive简称HD）中国地区一级代理商，日本HDSI公司是整体运动控制的领军企业，其生产的HarmonicDrive谐波减速机，具有轻量、小型、传动效率高、减速范围广、精度高等特点，被广泛应用于各种传动系统中。
专业的技术，完善的售后，让您的选择无后顾之忧，欢迎您的来电洽谈！
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