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NOTE系列气浮转台

来自北京瑞邦精控科技有限公司

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发布时间 2024-05-21 09:42:56 关注次数 186

北京瑞邦精控科技有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

产品特点

l Ÿ 闭式气浮结构 Ÿ 直驱零齿槽效应

l Ÿ 定位精度±0.5arc sec Ÿ 同步轴向跳动误差10nm

Ÿ 精准回零误差 Ÿ 高速度稳定性

Ÿ 解决气浮轴抱死问题 Ÿ 立式或卧式使用

应用领域

NOTE系列气浮转台具有高定位、速度稳定性和同步纳米级跳动误差，可立式或卧式使用，出色的跳动误差满足晶圆加工及检测、超精密加工、轮廓测量、高精度计量、光学检测和MEMS/纳米技术设备等高端行业。

结构特点

由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和精密反馈装置组成，径向双气路结构设计，使径向有出色的载荷力，安装结构上可选择立式或卧式使用，且能组合AB气浮轴，达到高正交性及高相交度。无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动，无气浮抱死问题。

精度性能

NOTE系列气浮转台的定位精度±0.5arc sec, 重复定位精度≤0.5arc sec, 同步轴向跳动误差10nm，同步径向跳动误差50nm, 摆角误差3μrad, 电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。

闭环反馈

圆光栅闭环反馈，运用高性能控制系统，分辨率优于0.01arc sec，结构设计上，气浮转台能精准回到零点位置。

定制化

气浮AB轴满足曲面加工、测试的应用。可定制安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。

规格指标

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处，测试速度10deg/s，Renishaw激光干涉仪及自带分析方法测量，精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如需非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 轴向和径向跳动为同步跳动误差，测微仪和标准球测量，计算为最大值-最小值-标准球误差-同心度。

3. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下指标，最大转速取决于负载大小。

5. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。

订购信息

型号	NOTE	-100	-PLUS	-1	-3	-Y
描述	气浮转台	转动台面直径114mm	PLUS高精度版	增量式光栅1Vpp反馈	线缆长度3米	有压力保护开关

名称	型号	描述
气浮转台	NOTE	气浮转台
台面	-50 -100 -200	转动台面φ80mm 转动台面φ114mm 转动台面φ148 mm
精度等级	-N -PLUS	标准值 PLUS高精度版
反馈方式	-1 -T -ABS	增量式光栅1Vpp反馈增量式光栅TTL反馈绝对式光栅反馈
线缆长度	-3 -5 -DZ	长度3米（标配）长度5米定制
压力保护开关	-Y -N	有压力保护开关（标配）无压力保护开关

品牌其他

型号NOTE

用途类型工业洁净室

气流类型其他

净化级别十万

加工定制是

北京瑞邦精控科技有限公司

主营业务

高精度位移台，气浮转台