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亳州压缩空气全项检测服务中心

电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种，按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。

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在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20～30种。在集成电路制造应用方面具体包括集成电路芯片制程、化学气相沉积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用；在太阳能电池应用方面具体包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池生产工艺和气体应用、薄膜太阳能电池生产工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面具体包括化合物半导体的应用、MOCVD／LED生产工艺和气体应用；在液晶显示器应用方面具体包括TFT／LCD的应用、TFT／LCD生产工艺和气体应用；在光纤应用方面具体包括光纤应用和光纤预制棒的生产工艺和气体应用。