美国万机仪器MKS INSTRUMENTS完成了对ION SYSTEMS、UMETRICS和NOVX的三桩收购，大大扩展了其制程控制产品系列和提升了其市场竞争力。随着中国本土半导体产业的迅速发展，国外领先芯片设备供应商纷纷淘金于中国大陆，而本土制造厂的崛起也为零配件供应商带来了更大的契机。在2006年度美国万机仪器MKS INSTRUMENTS营业额达到7.83亿美元。
代表型号：AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513, SUREPOWER QL6513, SUREPOWER QL10513, SUREPOWER QL13013,OPTIMA OPT-50, OPTIMA OPT-100, OPTIMA OPT-200, OPTIMA OPT-400, OPTIMA OPT-600,RPG-50,RPG-100,ENI-RFPC,MWH-5,MW-10D,ENI-2500-13.56,MWH-100,MWH-25,VI PROBE,1249A,148JA11CR1M, 148JA12CR1M, 148JA13CR1M, 148JA14CR1M, 148JA21CR1M, 148JA22CR1M, 148JA23CR1M, 148JA24CR1M, 148JA51CR1M, 148JA52CR1M, 148JA53CR1M,0154A-200LSV,0154A-200LRV,244E-1-VPO,244E-1-PLO, 244E-4-VPO,244E-4-PLO,245,247D,0248A-00010RV, 0248A-00010SV, 0248A-00050RV, 0248A-00050SV, 0248A-00100RV, 0248A-00100SV, 0248A-005050RV, 0248A-00500SV, 0248A-01000RV, 0248A-01000SV,250E-1-A,250E-1-D,250E-4-A,250-4-D,DELTA II FRC,MDD,VODMC52CR1BE, VODMC13CR1BE, VODMC33CR1BE,DLI25CSDA, DLI25CSDB, DLI25CKA, 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651CD2S1N，651CD2S1B，651CD2S2N，651CD2S2B，655AD2B，655AD2N，1651C2S，146C-ABCOO-1，146C-ABDFM-1，146C-ACBOO-1，146C-BCCOO-1，146C-BCDOO-1，146C-AFFFO-1，146C-FFFFO-1，146C-ABCOM-1，146C-ABDOO-1，146C-ACBOM-1，146C-AAFFN-1，660B10，660B12，660B20，660B22，660B30，660B32，660B40，660B42，LDM-D12PD2CC1，LDM-D13TD3AA2，PDR2000AO，4000AS2V1N，4000AS2V2N，4000AS5V1N，4000AS5V2N，4000AF2V1N，4000AF2V2N，4000AF5V1N，4000AF5V2N，MultiGas Purity, MultiGas 2030, MultiGas 2030-HS, InDuct, Process Sense, SecsTrace, MicroVision Plus, e-Vision, TOOLweb-RGA, 300mm Resist-Torr, HPQ2, V1000-B, V1000-C, v1000-E, V1000-I, V1000-P, 200mm Resist-Torr, 300mm Resist-Torr, Cirrus，901P-11, 901P-12, 901P-21, 901P-22, 901P-41, 901P-42, 901P-51, 901P-52, 901P-81, 901P-82, 902-1113, 902-1213, 902001, 902-1112, 902-1113, 902-1105, 902-1212, 902-1213. 902-1205, 902-1312, 902-1313, 902-1305, 909-11, 909-21, 909-31, 909-41, 909-51, 909-61, 909A-11, 909A-21, 909A-31, 909A-41, 909A-51, 909A-61, 109030001, 109030002, 109030003, 109030004, 109030111, 109030112, 109030113, 109030114,910-11,910-12,910-41,910-42,910-51,910-52, 925C-11, 925C-12, 925C-21, 925C-31, 925C-22, 925C-41, 925C-42, 925C-51,925C-52, 925C-81, 925C-82, 925-11, 925-12, 925-21, 925-22, 925-41, 925-42, 925-51, 925-52, 925-81, 925-82, 979B-11, 979B-12, 979B-21, 979B-22, 979B-31, 979B-32, 979B-41, 979B-42, 979B-51, 979B-52, 999-11, 999-12, 999-21, 999-22, 999-31, 999-32, 999-41, 999-42, 999-51, 999-52, 999-61, 999-62, 100014129, PDR900-11-US, PDR900-11-EU, 100013703, 100013705, 100013613, 100013615, 100013620, 100013622, 100013638, 100010757, 100013690, 100013695, 945-A-120-TR, 945-A-220-TR, 945-A-120-MC, 945-A-220-MC, 945-A-120-PA, 945-A-220-PA, 945-A-120-MB, 945-A-220-MB, 103450010, 103450011, 103450012, 103450013, 103450014, 103450015, 103450016, 103450017, 103450018, 10317006SH, 10317007SH, 10317008SH, 100009993, 947-A-120-MB, 947-A-120-MC, 947-A-120-PA, 947-A-120-TR, 947-A-220-MB, 947-A-220-MC, 947-A-220-PA, 947-A-220-TR, 103170010SH, 103170011SH, 103170012SH, 103170013SH, 103170014SH, 103170016SH, 103170018SH, 103170027SH, 103170029SH, 103170006SH, 103170007SH, 943-A-120V50-MB-PC, 943-A-120V50-PA-PC, 943-A-120V50-TR-PC, 943-A-120V60-MB-PC, 943-A-120V60-PA-PC, 943-A-120V60-TR-PC, 943-A-220V50-MB-PC, 943-A-220V50-PA-PC, 943-A-220V50-TR-PC, 943-A-220V60-MB-PC, 943-A-220V60-PA-PC, 943-A-220V60-TR-PC, 104230004, 104230001, 104230002, 104230003, 104210004, 104210001, 104210002, 104210003, 104210005, 100002505, 100007873, 100007874, 100002395, 100006171, 100006172, 100006173, 100006174,937A,RMU PCI-104, MacroNode, 3U Ethernet Card Cage, AS00107-01, AS00108-01, AS00120-01, AS00121-01, AS00122-01, AS00123-01, AS00124-01, AS00125-01, AS00126-01, AS00127-01, AS00128-01, AS00160-01, AS00161-01, AS00239-01, AS00246-01, AS00249-01, AS00720-01, AS00721-01, AS00722-01, HDFD-0850, AS00710-01, AS00700-02, AS00800-01, AS00801-01, AS00803-02, AS00804-01, AS00760-02, CDN127,CDN180,CDN49X,CDN572-5,CDN694, MSVAHE160000, MSVAHE16D000, MSVAHE260000, MSVAHE26D000, MSVAHE360000, MSVAHE36D000,943系列数字型冷阴极控制器

943-A-120V50-TR-PC    943 控制器, Torr 读数, 50 Hz, 100-120V 10317001SH  355600-0-YG-T  275400-1-GD-T  355400-0-TD-T   355001-TD   51B13TCA2BA670   628H-15991  925-42030  MKS   
627F-1T-QD5B  649B00111T51CAVR  649B-28665 358501-010-M3  358011-10  390610-2-YE-T 

943-A-120V60-TR-PC    943 控制器, Torr 读数, 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-TR-PC    943 控制器, Torr 读数, 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-TR-PC    943 控制器, Torr 读数, 60 Hz, 220-240V

943-A-120V50-MB-PC    943 控制器, mbar 读数, 50 Hz, 100-120V

943-A-120V60-MB-PC    943 控制器, mbar 读数, 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-MB-PC    943 控制器, mbar 读数, 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-MB-PC    943 控制器, mbar 读数, 60 Hz, 220-240V

943-A-120V50-PA-PC    943 控制器, Pa 读数, 50 Hz, 100-120V

943-A-120V60-PA-PC    943 控制器, Pa 读数, 60 Hz, 100-120V

943-A-220V50-PA-PC    943 控制器, Pa 读数, 50 Hz, 220-240V

943-A-220V60-PA-PC    943 控制器, Pa 读数, 60 Hz, 220-240V

423 I-Mag冷阴极传感器：

104230004      423 I-Mag 冷阴极传感器, NW 25 KF

104230001      423 I-Mag 冷阴极传感器, NW 40 KF

104230002      423 I-Mag 冷阴极传感器, 23/4” CF

104230003      423 I-Mag 冷阴极传感器, 1” Tube

421 冷阴极传感器：

104210004      421 冷阴极传感器, NW 25 KF

104210001      421 冷阴极传感器, NW 40 KF

104210002      421 冷阴极传感器, 23/4” CF

104210003      421 冷阴极传感器, 1” Tube

104210005      421 冷阴极传感器, 8 VCR-F1

423 I-Mag冷阴极传感器线缆：

100002505      2 ft. (0.6 m)

100007873      10 ft. (3.0 m)

100007874      25 ft. (7.6 m)

100002395      50 ft. (15 m)

421 冷阴极传感器线缆：

100006171      10 ft. (3.0 m)

100006172      25 ft. (7.6 m)

100006173      50 ft. (15.2 m)

100006174      100 ft. (30.5 m)

附件：

103150001      电源线,115 VAC

100005087      943系列输出连接组件

100005021      固定支架

100006734      421系列冷阴极管重组组件 (6螺栓，1/4-28)

100002353      423 I-Mag 冷阴极传感器重组组件

100005279      421系列组装扳手

100006828      943系列使用手册

945系列Pirani真空测量计

系列主要参数：
 

 
1.0 x 10-4 to 100 Torr

 
、Mbar、Pa、micron
 
5° to 40°C (41° to 104°F)

 
90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

 
 
945系列订购指南：

945系列数字Pirani控制器：

945-A-120-TR     945系列Pirani控制器, 120 Volts, Torr 读数

945-A-220-TR     945系列Pirani控制器, 220 Volts, Torr 读数

945-A-120-MC     945系列Pirani控制器, 120 Volts, micron 读数

945-A-220-MC     945系列Pirani控制器, 220 Volts, micron 读数

945-A-120-PA     945系列Pirani控制器, 120 Volts, Pascal 读数

945-A-220-PA     945系列Pirani控制器, 220 Volts, Pascal 读数

945-A-120-MB     945系列Pirani控制器, 120 Volts, mbar 读数

945-A-220-MB     945系列Pirani控制器, 220 Volts, mbar 读数

345系列屏蔽型Pirani传感器—满足CE要求：

103450210        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103450211        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 1/8”NPT-M

103450212        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 8 VCR-F 1

103450213        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, Mini 1-1/3'' CF

103450214        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 2-3/4 CF

103450215        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103450216        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 15mm 管道

103450218        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 18mm 管道

345系列传感器与945系列控制器互连的电缆：

103170006SH 10 ft. (3.0 m)

103170007SH 25 ft. (7.6 m)

103170008SH 50 ft. (15.2 m)

103170009SH 客户定制 (zui长 500 ft.)

附件：

103150001         电源线, 115 VAC

100008103         945系列输出互连套件

100005021         安装硬件套件

109450020         945系列用户手册

100009993         Octal到9针适配器

100005456         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 空白

100005457         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 1 cutout

100005458         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 2 cutouts

100005459         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 3 cutouts

100005460         Rack 面板, 19, 3U 1/4 DIN, 4 cutouts

947系列真空传感器系统

数字型加强对流Pirani真空传感器系统

947系列对流增强型Pirani控制器具有宽的测量范围10-3至10+3，是用于低真空到中真空的理想选择。它可用于低真空和中真空的压力测量，以及对高真空传感器的激活，或根据标准继电器的预设点来启动系统的真空过程。947系列控制器不仅适合于所有的工业真空的应用，如半导体或食品加工中，还可以应用于研究分析设备中。

系列主要参数：
 

 
1.0 x 10-3 to 1.0 x 10+3 Torr

 
、Mbar、Pa、micron
 
5° to 40°C (41° to 104°F)

 
90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

 
 
947系列订购指南：

947系列对流增强型Pirani传感器（包括电源线、输出互连器和用户手册）

947-A-120-TR       947 系列控制器, 120 volts, Torr readout

947-A-220-TR       947 系列控制器, 220 volts, Torr readout

947-A-120-MC       947 系列控制器, 120 volts, micron readout

947-A-220-MC       947 系列控制器, 220 volts, micron readout

947-A-120-PA       947 系列控制器, 120 volts, Pascal readout

947-A-220-PA       947 系列控制器, 220 volts, Pascal readout

947-A-120-MB       947 系列控制器, 120 volts, mbar readout

947-A-220-MB       947 系列控制器, 220 volts, mbar readout

317系列屏蔽型对流增强Pirani传感器（满足CE要求）：

103170010SH        317 系列传感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103170011SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 1/8" NPT-M

103170012SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 8 VCR-F1

103170013SH        317 系列传感器, 屏蔽型, Mini 11/3” CF

103170014SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 2¾" CF

103170016SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 15 mm. 管道

103170018SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 18 mm. 管道

103170027SH        317 系列传感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103170029SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 4 VCR-F1

用于对流增强型Pirani传感器的线缆：

103170006SH        10 ft (3.0 m)

103170007SH        25 ft (7.6 m)

103170008SH        50 ft (15.2 m)

103170009SH        客户定制 (zui大500 ft.)

附件：

103150001          电源线, 115 VAC

100005021          安装硬件

109470020          947系列用户手册

100005456          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN,空白

100005457          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 1 cutout

100005458          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 2 cutouts

100005459          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 3 cutouts

100005460          Rack 面板, 19, 3U, 1/4 DIN, 4 cutouts

959系列热阴极真空传感器系统

HPS 959系列热阴极控制器是一个紧凑型、经济的单通道控制器。它能进行方便、快速、可靠的压力测量，所有的操作控制，包括电源的通断都可以在控制器的面板上方便的进行。

959系列可以仅仅作为热阴极的控制器，如选配Pirani时也可作为热阴极/pirani的控制器，959系列能自动的探测所用的HPS标准的Pirani，还是对流型的Pirani，Pirani能控制热阴极的灯丝，在近大气压工作时能对灯丝起保护作用。当Pirani和热阴极的输出有重叠时，可选择一个组合的输出显示。

系列主要参数：
 

 
1.0 x 10-10 to 1000（根据传感器）r

 
、Mbar、Pa、micron
 
5° to 40°C (41° to 104°F)

 
90 to 130 VAC, 50/60 Hz, 9 W

210 to 250 VAC, 50/60 Hz, 9 W

 
 
 
345、317
959系列订购指南：

959系列控制器

109590015      959系列控制器 读数Torr, 50 Hz, 热阴极

109590016      959系列控制器 读数Torr, 60 Hz, 热阴极

109590025      959系列控制器 读数mbar, 50 Hz, 热阴极

109590026      959系列控制器 读数mbar, 60 Hz, 热阴极

109590035      959系列控制器 读数Pascal, 50 Hz, 热阴极

109590036      959系列控制器 读数Pascal, 60 Hz, 热阴极

109590915      959系列控制器 读数Torr, 50 Hz, 热阴极/Pirani

109590916      959系列控制器 读数Torr, 60 Hz, 热阴极/Pirani

109590925      959系列控制器 读数mbar, 50 Hz, 热阴极/Pirani

109590926      959系列控制器 读数mbar, 60 Hz, 热阴极/Pirani

109590935      959系列控制器 读数Pascal, 50 Hz, 热阴极/Pirani

109590936      959系列控制器 读数Pascal, 60 Hz, 热阴极/Pirani

微型离子规（MIG）传感器

100011085      微型离子规传感器 涂覆氧化钇的钇灯丝1 管道

100011111      微型离子规传感器 涂覆氧化钇的钇灯丝 1-1/3 CF

100011112      微型离子规传感器 涂覆氧化钇的钇灯丝 2-3/4 CF

100011113      微型离子规传感器 涂覆氧化钇的钇灯丝 NW 25 KF

100011114      微型离子规传感器 涂覆氧化钇的钇灯丝 NW 40 KF

100011118      微型离子规传感器 涂覆氧化钇的钇灯丝 NW 16 KF

100011127      微型离子规传感器 涂覆氧化钇的钇灯丝 3/4 管道

微型离子规（MIG）电缆

100011106      电缆，微型离子规传感器连接到959系列控制器 10 ft.（3m）

100011107      电缆，微型离子规传感器连接到959系列控制器 25 ft.（7.6m）

100011108      电缆，微型离子规传感器连接到959系列控制器 50 ft.（15.2m）

裸规热阴极传感器

100005987      裸规热阴极传感器，钨, NW 40 KF

100005980      裸规热阴极传感器，钨, 2-3/4 CF

100006841      裸规热阴极传感器，涂覆氧化钇的钇, NW 40 KF

100006842      裸规热阴极传感器，涂覆氧化钇的钇, 2-3/4 CF

裸规热阴极传感器电缆

100010909      电缆，微型离子规传感器连接到959系列控制器 10 ft.（3m）

100010910      电缆，微型离子规传感器连接到959系列控制器 25 ft.（7.6m）

100010911      电缆，微型离子规传感器连接到959系列控制器 50 ft.（15.2m）

317系列屏蔽型对流增强Pirani传感器：

103170010SH        317 系列传感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103170011SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 1/8" NPT-M

103170012SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 8 VCR-F1

103170013SH        317 系列传感器, 屏蔽型, Mini 11/3” CF

103170014SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 2¾" CF

103170016SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 15 mm. 管道

103170018SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 18 mm. 管道

103170027SH        317 系列传感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103170029SH        317 系列传感器, 屏蔽型, 4 VCR-F1

345系列屏蔽型Pirani传感器—满足CE要求：

103450210        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, NW 16 KF

103450211        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 1/8”NPT-M

103450212        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 8 VCR-F 1

103450213        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, Mini 1-1/3'' CF

103450214        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 2-3/4 CF

103450215        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, NW 25 KF

103450216        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 15mm 管道

103450218        345系列Pirani传感器, 屏蔽型, 18mm 管道

317和345系列Pirani传感器的线缆：

103170006SH        10 ft (3.0 m)

103170007SH        25 ft (7.6 m)

103170008SH        50 ft (15.2 m)

附件

103150001      电源线,115 VAC

100005087      输出连接组件

100005761      安装件

100883069      CF Nipple带屏，2-3/4英寸 CF，4英寸

100011229      959系列用户手册