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1、洁净度的检测

1）使用采样量大于1L/min 的光学粒子计数器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率。

2）最少采样点数应按下式计算：

式中，NL为最少采样点；A为洁净室或洁净区的面积，㎡。

3）采样点应均匀分布于洁净室或洁净区的整个面积内，并位于工作活动的高度，活动高度宜距地面0.8m；每个采样点的最小采样时间为1min。

4）每一采样点的每次采样量应至少为2L ，采样量应按下式计算：

式中，VS为每个采样点的每次采样量，L；Cn·m为被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值，pc/㎥。

2、风量或风速测试

1）单向流洁净室：采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量，测点位于高效过滤器出风面约150mm ~ 300mm，垂直气流处的截面作为采样截面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于4 点，所有读数的算术平均值作为平均风速。

2）非单向流洁净室：采用风口或风管法确定送风量，可按现行国家标准《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243规定的方法执行。

3、静压差测试

静压差的测定应在洁净室（区）的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行，并应在所有的门关闭时检测。仪器宜采用各种微差压力计，仪表灵敏度应小于1.0Pa 。

4、已安装过滤器检漏测试

检漏方法有光度计法和粒子计数器法。在过滤器上风侧应引入测试用气溶胶，在过滤器下风侧用光度计或粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面2cm~3cm 处，以5mm/s~15mm/s 的扫描速度移动，并应注意安装交接处的扫描。

5、密闭性测试

应用于确认有无被污染的空气从相邻洁净室（区）或非洁净室（区）通过吊顶、隔墙等表面或门、窗渗漏入洁净室（区）。一般适用于1 级至5 级的洁净室（区）进行测试。采用光度计法和粒子计数器法进行测试。