◆工作温度：300~1300℃ 
  ◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制 
  ◆恒温区长度：1080mm（可根据用户要求定制） 
  ◆温区精度（静态闭管测试）： 
  600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃ 
  300℃≤工作温度≤600℃：±1℃ 
  ◆单点温度稳定性（静态闭管测试）： 
  600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h 
  300℃≤工作温度≤600℃：±1℃/24h 
  ◆温度斜变能力： 
  可控升温速度（300～1300℃）：15℃/min 
  降温速度（1300～900℃）：5℃/min 
  ◆气体流量设定精度：±2％FS 
  ◆气路系统气密性：1×10-7PA.m3/s 
  ◆自动送料装置行程：~2000mm 
  速度：5~1000mm/min 
  SiC浆承重 19kg 
  ◆装片数量 400片/管 
  ◆净化台洁净度 100级（10000级厂房） 
  ◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz； 
  ◆冷却水：2～4Kgf/cm2，～8L/min