新型超临界Automegasamdri-938系统由我们的内部设计团队开发,其目标是倾听您的需求,并将其融入我们的下一代产品中。几十年来,您一直期待的经典功能能够实现平稳操作、准确控制和再现性,在我们这个新的设计中再次显现。
性能特点
- 运行室中的专用初始慢速填充可以实现理想的流体动力学,从而保留敏感的微型设备。
- 通过可接近的部件,包括外部吹扫后过滤器组件,维护变得容易。
- “涡流”技术:非机械搅拌室,允许流体动态交换,无需产生颗粒的摩擦装置。
- 集成闭合冷却回路可快速降低腔室温度,缩短工艺运行时间。
- 内部SOTER(tm)冷凝器安静地捕获并分离二氧化碳废气和废酒精。
- 腔室插入件可实现腔室内径的变化,更大限度地提高LCO2消耗效率、工艺时间,并提供多种尺寸的晶圆工艺能力。
- 处理室LCO2过滤至0.08μm,颗粒保留率达到99.999%+。
- 每次运行可处理五个8“(200mm)晶圆。包括以下HF兼容晶圆夹:8”(200mm)、6”(150mm)、4”(100mm)、3”(75mm)、2”(50mm)和10mm模具夹。
- 通过观察窗口实现腔室照明,有助于腔室状态可视化。
- 自动处理与工厂默认配方或自定义自己的能力。
- 所有内表面对二氧化碳和超纯醇都是惰性的。
- 可重复的操作参数,确保结果的“再现性”。
- 操作功能集成在温度和压力自动调节中。
- 洁净室无静电兼容设计。
可选功能与配件
8760-03:8“工艺室用KNbbb螺母
8760-41:适用于Autosamdri、Automegasamdri和触摸屏C系列的3A保险丝
8760-42:适用于Autosamdri、Automegasamdri和触摸屏C系列的8A保险丝
8770-13:LED室灯,120V
8770-32:高压软管,5英尺
8770-33:高压软管,10英尺
8770-80:4“工艺腔室的腔室盖
8785:双T形过滤器组件
8770-83B:用于LCO2 T型过滤器或外部吹扫管线过滤器的0.5µm不锈钢颗粒过滤器元件。
8784-05:LCO2储罐连接垫片
8770-51T/916B:AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型环
8770-48:流量计-与Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B(180 SCFH)一起使用
8770-54:LCO2油箱秤,带远程显示器
8768H:8“-200毫米HF兼容晶圆架,容纳5个晶圆
8768A:6“-150mm HF兼容晶圆架,容纳5个晶圆
8768F:5“-125mm HF兼容晶圆架,容纳5个晶圆
8768B:4“-100mm HF兼容晶圆架,容纳5个晶圆
8768C:3“-75mm HF兼容晶圆架,容纳5个晶圆
8768D:2“-50mm HF兼容晶圆架,容纳5个晶圆
8768G:1“-25mm HF兼容晶圆架,容纳5个晶圆
8768E:10mm方形HF兼容芯片支架,可容纳5个芯片
- 公司类型私营独资企业
- 经营模式贸易公司-私营独资企业
- 联系人喻小姐
- 联系手机13331951513
- 联系固话021-32190091(8002)
- 公司地址曹安路2038号
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