型号

HiPace® 30,TC 110
DN 63 ISO-K

HiPace® 30,TC 110
DN 63 CF-F

HiPace® 30,TC 110,
DN 40 ISO-KF

 分子泵图片

 复合轴承

陶瓷球轴承

 Ar 压缩比

> 1 X1011

 H2 压缩比

3 X105

 He 压缩比

3 X107

 N2  压缩比

> 1 X1011

 标准冷却

对流

 可选冷却

风冷, 水冷

 冷却水消耗

75 l/h

 冷却水温度

5-25 °C

 电子驱动

TC 110

 进气法兰

DN 63 ISO-K

DN 63 CF-F

DN 40 ISO-KF

 排气法兰

DN 16 ISO-KF, G ¼"

 最大预抽真空, N2

24 hPa

 全转速时气体流量, Ar

0.22 hPa l/s

 全转速时气体流量, H2

10 hPa l/s

 全转速时气体流量, He

1.84 hPa l/s

 全转速时气体流量, N2

0.66 hPa l/s

 通讯接口

RS-485, Remote

 安装方式

任意位置安装

 操作电压

24 (± 5 %) V DC

 允许最大磁场

3 mT

 保护类型

IP 54

IP 54

IP 30

 抽速 Ar

32 l/s

32 l/s

20 l/s

 抽速 H2

20 l/s

20 l/s

19 l/s

 抽速 He

24 l/s

24 l/s

23 l/s

 抽速 N2

32 l/s

32 l/s

22 l/s

 转速 ± 2 %

90,000 rpm

 启动时间

1.7 min

 极限真空

< 1X10-7 hPa

< 5X10-10 hPa

< 1X10-7 hPa

 放气接口

G 1/8"

 重量

2 kg

3.2 kg

2 kg

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