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(3)刻蚀 刻蚀是在没有光刻胶保护的地方留下永久的图形。日本HD刻蚀工艺谐波传动CSF-32-50-2UH-SP一般使用等离子体刻蚀机、等离子体去胶机和湿法清洗设备。现在主要使用干法等离子体刻蚀工艺。
(4)离子注入 离子注入是亚微米工艺中最常见的掺杂方法。 将要掺入的杂质,如砷
(As)、磷(P)、硼(B)注入离子注入机,经过电离日本HD刻蚀工艺谐波传动CSF-32-50-2UH-SP,再由高电压或磁场控制并加速,高能杂质离子穿透涂胶硅片的表面,最后进行去胶和清洗硅片完成离子注入。
(5)薄膜生长 薄膜生长工艺用来加工出半导体中的介质层、金属层。薄膜工艺包括化学气相淀积(CVD)和金属溅射(物理气相淀积,PVD)。薄膜产生后需要使用快速退火装置(RPT)修复离子注入引入的衬底损伤,日本HD刻蚀工艺谐波传动CSF-32-50-2UH-SP以及完成金属的合金化。最后使用湿法清洗设备进行硅片清洗。
品牌HarmonicDrive
型号CSF-32-50-2UH
类型谐波减速器
载荷状态强冲击载荷
传动比级数双级
轴的相对位置立式加速器
传动布置形式摆线式
加工定制是
样品或现货现货
齿面硬度软齿面
布局形式三环式
用途减速机
输入转速3000rpm
额定功率360kw
输出转速范围50rpm
许用扭矩691N.m
使用范围化工
减速比2422
产地日本
上海浜田实业有限公司
- 公司类型私营有限责任公司
- 经营模式代理商-私营有限责任公司
- 联系人张工
- 联系手机13162861726
- 联系固话1316-2861726
- 公司地址上海市嘉定区爱特路877号歆翱国际商务园D幢510室
主营业务
上海谐波减速机|哈默纳科|harmonic|NIKUNI|山洋
上海浜田实业有限公司专业致力于传动控制行业。面向工业机器人、半导体、机床、医疗器械、船舶、点胶、印刷、精密电子设备等行业中的运动控制技术。
上海浜田实业有限公司为日本哈默纳科(HarmonicDrive简称HD)中国地区一级代理商,日本HDSI公司是整体运动控制的领军企业,其生产的HarmonicDrive谐波减速机,具有轻量、小型、传动效率高、减速范围广、精度高等特点,被广泛应用于各种传动系统中。
专业的技术,完善的售后,让您的选择无后顾之忧,欢迎您的来电洽谈!
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