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KRI 射频离子源 RFICP 220

来自伯东企业(上海)有限公司

¥10.00

发布时间 2020-08-21 16:16:56 关注次数 576

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图文介绍产品参数供应商信息

上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 220, 大面积高能量栅极离子源.

离子束流: >800 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000; 流量(Typical flow): 10-40 sccm; 压力: < 0.5m Torr

离子束可聚焦, 平行, 散射.

采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.

通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others.

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

离子源型号	RFICP 220
Discharge	RFICP 射频
离子束流	>800 mA
离子动能	100-1200 V
栅极直径	20 cm Φ
离子束	聚焦, 平行, 散射
流量	10-40 sccm
通气	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力	< 0.5m Torr
长度	30 cm
直径	41 cm
中和器	LFN 2000

* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 应用领域：

1. 预清洗

2. 表面改性

3. 辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,

4. 溅镀和蒸发镀膜 PC

5. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD

6. 离子蚀刻 IBE

KRI 射频离子源相关应用案例:

1. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 应用于离子刻蚀 IBE

2. 伯东 KRI 射频离子源 RFICP 325 辅助 LED-DBR 镀膜

3. 伯东 KRI 离子源成功应用于离子溅射镀膜 (IBSD)

工件材质不锈钢

类型抛光

打样周期其他

加工周期其他

加工贸易形式其他

伯东企业(上海)有限公司

公司类型外商独资
经营模式代理商-外商独资
联系人罗
联系手机15201951076
联系固话21-5046-1322
公司地址上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 201206

主营业务

KRI离子源,Gel-Pak芯片包装盒,高低温测试机,HVA真空阀

伯东公司成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(.)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。