深圳市天铉真空技术有限公司Model 730 真空电容式压力计 特性 ·高精度：±0.5% 读数 ·张紧的膜片保证优异的性能 ·工作温度补偿范围宽 ·回路噪声低，响应快 ·不易受环境条件变化影响 ·出色的抗过压设计 ·符合 CE 和 RoHS 规范 应用 ·半导体处理室 ·石化 ·等离子体灭菌器 ·真空包装 ■ 耐化学品的 InconelTM 设计 ■ 精确的低真空测量 ■ 专用压力接头 Setra 的 730 型是一款高精度的电容式压力计（亦称电容 式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场 中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精 度达 ±0.5%，分辨率高，优于同类产品。730 型使用全 InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介 质。由于采用直接测量设计，它能精确测量介质，不受应 用中气体混合物成分的影响。 适合苛刻应用的高性能产品 采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工 业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的 特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。 Inconel® 设计保证通用性 所有接液部件均采用 Inconel TM 材料，因此对半导体 和工业真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。 Inconel TM 材料结合全焊接结构，确保 730 型在这类 应用中的长使用寿命。 直接压力测量 内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业 电容式压力计不同，730 型测量直接压力，不受被测 混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。 耐压 范围 耐压（PSIA） 所有范围 45 PSIA