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日本ygkcop表面粒子扫描仪YPI-MN

来自深圳市秋山贸易有限公司

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发布时间 2021-03-01 15:00:54 关注次数 758

深圳市秋山贸易有限公司

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图文介绍产品参数供应商信息

日本ygkcop表面粒子扫描仪[YPI-MN]

YPI-MX-ΘDC

YPI-MN紧凑型高性能晶圆表面检测设备

紧凑而高性能的晶圆表面检测设备。表面粒子扫描仪。
新开发的高性能，节省空间的类型。
安装面积为YPI-200的50％。
它是一种紧凑的表面检查
设备，可以根据使用模式进行移动，精度高达0.15μm，同时又节省了空间。
作为可选功能，可以为透明基板安装前/后分离功能（通过消除后表面的影响来执行前表面的测量）。
测量结果可以通过检测图大小，历史和异物图像显示并记录在附带的P / C上，并带有颗粒数量。

设备规格

工作尺寸200 x 200 mm，φ200mm（可提供φ300mm测量* 1）

最小检测到的颗粒尺寸（Si PSL裸颗粒）Si晶圆0.152μm
透明玻璃基板0.3μm（需要可选设备）

激光/检测单元使用405 nm（蓝色激光）和光电倍增管（PMT）

扫描方式XY，螺旋扫描

工作提供方法手动的

设备尺寸（宽x深x高）W548 x D572 x H962（mm）通过P / C

设备重量90kg（不含P / C）

电源AC100V 15A
* 1当支持φ300mm时，深度尺寸会改变。

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品牌ygkcop

型号YPI-MN

加工定制否

深圳市秋山贸易有限公司

公司类型私营有限责任公司
经营模式贸易公司-私营有限责任公司
联系人黄婧文
联系手机18875910180
联系固话0755-86000001
公司地址广东省深圳市龙华街道

主营业务

农业机械，检测仪器，光源仪器

机械加工设备，食品加工设备，机电设备，电子能源相关设备，粉体制造设备，电子计测仪器，科学仪器，光电产品，检测仪器等